アクティブな空間光制御による三次元超解像イメージングと欠陥形状高速計測

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23760112
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 静岡大学
• 研究代表者: 臼杵 深 静岡大学, 若手グローバル研究リーダー育成拠点, 特任助教 (60508191)
• 連携研究者: 三浦 憲二郎 静岡大学, 創造科学技術大学院, 教授 (50254066)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: アクティブ光制御 / 変調照明 / 超解像 / 三次元顕微法 / デコンボリューション / 多光束干渉 / マルチビーム / インプロセス検査

研究概要

複数レーザの立体的干渉を利用した三次元変調照明生成・制御手法を提案した.レーザの空間的配置,入射角度,偏光条件を最適化することで,高い空間周波数を有する三次元照明の生成とナノオーダーの空間位置制御が可能となる.四光束干渉実験装置による検証の結果,理論解析に即した変調照明生成を確認した.得られた信号情報と与えた照明情報から観察試料を再構成するための処理手法を開発した.複数三次元画像と与えた照明情報から,三次元超解像が実現することを確認した.

研究成果

• [雑誌論文] Generation and Control of 3D Standing Wave Illumination for Wide-Field High-Resolution 3D Microscopic Measurement (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Usuki, H. Kanaka and K. T. Miura
  • 雑誌名: International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 巻: Vol.14, No.1 ページ: 55-60
  • 査読あり
• [雑誌論文] ano-Micro Geometric Modeling Using Microscopic Image (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Usukiand K. T. Miura
  • 雑誌名: Key Engineering Materials 巻: Vols. 523-524 ページ: 345-349
  • 査読あり
• [雑誌論文] Influence of standing wave phase error on super-resolution optical inspection for periodic microstructures (2012)
  • 著者名/発表者名: R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi and K. Takamasu
  • 雑誌名: Measurement Science and Technology 巻: Vol.23, No.5 ページ: 054007
  • 査読あり
• [学会発表] Resolution-improved digital refocusing microscope for microstructure measurement (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Usuki, M. Uno, K. T. Miura
  • 学会等名: Proceedings of the 12th euspen International Conference
  • 発表場所: 280-283
  • 年月日: 2012-06-04
• [学会発表] Advanced Microscopic Imaging by Spatial Control of Light and Multi-Image Reconstruction (2012)
  • 著者名/発表者名: S.Usuki
  • 学会等名: Proceedings of International Symposium on Ultraprecision Engineering and Nanotechnology 2012
  • 発表場所: 首都大学東京(東京都)
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] Generation and Control of Wide Field Three Dimensional Structured Illumination for Advanced Microscopic Imaging (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Usuki, H. Kanaka, K. T. Miura
  • 学会等名: 4th International Conference of AsianSociety for Precision Engineering and Nanotechnology
  • 発表場所: Langham Place Hong Kong Hotel(香港)
  • 年月日: 2011-11-16
• [備考]
  • URL: http://www.shizuoka.ac.jp/tenure/
• [備考]
  • URL: http://ktm11.eng.shizuoka.ac.jp/profile/usuki/index.html