| 連携研究者 |
奥田 孝一 兵庫県立大学, 工学(系)・研究科(研究院), 教授 (50124061)
布引 雅之 兵庫県立大学, 工学(系)・研究科(研究院), 教授 (50244687)
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
才木 常正 兵庫県立工業技術センター, 情報技術支援部, 主任研究員 (80470227)
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| 研究概要 |
本研究課題の目的は,ニオブ酸リチウムを SAW デバイスとして用いた新規μ-TAS の開発である.このことから,ニオブ酸リチウムの切削特性の解明と SAW デバイスの作成を行った.その結果,異方性の強い脆性材料であるニオブ酸リチウムが延性モード切削可能であることを明らかにするとともに, SAW デバイスとして用いるための流路の加工に成功した.また,得られた条件を元にデバイスを作成して実験を行い,本デバイスによる粉体移送実験に成功した.
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