| 研究概要 |
光学撮影系を有する電子機器のための薄くてマイクロな可変焦点レンズシステムとしてECFマイクロポンプを組み込んだ可変焦点形液体レンズの開発を行なった.これは薄膜を用いた液体レンズをECFジェットの発生圧力により駆動するものである.ECFマイクロポンプの高性能化のために,三角柱-スリット形電極対を効率よく製作できるMEMSプロセスを提案し,ECF電極対の集積化を行った.ラージモデルを製作し,印加電圧により焦点距離を変更できることを確認した.また,流路などをMEMS技術により製作することでECFマイクロポンプを組み込んだ小形な可変焦点形液体レンズを実現し,この可能性を示した.
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