複合表面改質処理による高機能DLC膜の開発

2012 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23760141
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
• 研究機関: 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター
• 研究代表者: 川口 雅弘 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター, 高度S, 副主任研究員 (40463054)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2012
• キーワード: DLC / PBII&D / tribology / hydrogen contents

研究概要

AIP法で成膜した水素フリーDLC膜に対して、PBII&D法を用いて水素イオン注入を行い、摩擦摩耗特性におよぼす水素含有量の影響について検討した。TEM-EELSなどよりsp^3/sp^2比について検討した結果、水素注入量に伴い水素含有DLCに近づく傾向が現れたが、同程度の水素含有DLC膜までは至らないことがわかった。摩擦摩耗試験結果より、摩擦係数、比摩耗量ともに水素注入量に伴い増加する傾向が現れた。水素フリーDLCは水素イオンを注入しても初期のsp^3構造が維持されていることを見出した。

研究成果

• [雑誌論文] Effects of Pre-heat Treatment on Tribological Properties of DLC Film (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Tokuta, M. Kawaguchi, A. Shimizu and S. Sasaki
  • 雑誌名: Tribol. Lett. 巻: 49 ページ: 341-349
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mechanical properties and thermal stability of SiBCN films prepared by ion beam assisted sputter deposition (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Choi, N. Hayashi, T. Kato and M. Kawaguchi
  • 雑誌名: Dia. Relat. Mater. 巻: 34 ページ: 95-99
  • 査読あり
• [雑誌論文] Structural and environmental dependence of superlow friction in ion vapor-deposited a-C:H:Si films for solid lubrication application (2013)
  • 著者名/発表者名: X. Chen, T. Kato, M. Kawaguchi, M. Nosaka and J. Choi
  • 雑誌名: J. Phys. D: Appl. Phys. 巻: 46
  • 査読あり
• [雑誌論文] ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第1報)-トルエン原料ガスを用いたバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜
  • 著者名/発表者名: 崔〓豪,石井啓資,加藤孝久,川口雅弘
  • 雑誌名: トライボロジスト 巻: (印刷中)
  • 査読あり
• [学会発表] Al集電体へのリチウムイオン二次電池正極活物質の形成技術の開発 (2013)
  • 著者名/発表者名: 松本拓人,川口雅弘,林英男,石崎貴裕
  • 学会等名: 表面技術協会第127回講演大会
  • 発表場所: 日本工業大学
  • 年月日: 2013-03-18
• [学会発表] DLC膜とその評価法-現状と展望- (2013)
  • 著者名/発表者名: 川口雅弘
  • 学会等名: 表面技術協会ナノテク部会第48回研究会
  • 発表場所: 東京ビックサイト(招待講演)
  • 年月日: 2013-01-31
• [学会発表] 水素雰囲気下における複合DLC膜の超潤滑性の発現 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野坂正隆,草場亮太,崔〓豪,加藤孝久,川口雅弘
  • 学会等名: トライボロジー会議2012秋室蘭
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2012-09-18
• [学会発表] 複合DLC膜の摺動特性におよぼす水素含有量の影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 川口雅弘
  • 学会等名: トライボロジー会議2012秋室蘭
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2012-09-18
• [学会発表] イオン化蒸着法により作成したa-C:H:Si膜の低摩擦性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 陳新春,川口雅弘,崔〓豪,松本直浩,加藤孝久
  • 学会等名: トライボロジー会議2012秋室蘭
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2012-09-17
• [学会発表] ラマンスペクトルを用いたDLC膜の構造および機械的特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 日比貴之,崔〓豪,加藤孝久,川口雅弘
  • 学会等名: トライボロジー会議2012秋室蘭
  • 発表場所: 室蘭工業大学
  • 年月日: 2012-09-17
• [学会発表] PBII&D法により成膜したDLC膜の各種特性評価およびその事業化に向けた取り組み (2012)
  • 著者名/発表者名: 川口雅弘
  • 学会等名: 東京大学地殻化学セミナー
  • 発表場所: 東大本郷キャンパス(招待講演)
  • 年月日: 2012-05-18
• [学会発表] 水素雰囲気下でのDLC膜の摩擦特性に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大嶋健太,徳田祐樹,坪井涼,佐々木信也,川口雅弘
  • 学会等名: トライボロジー会議2012春東京
  • 発表場所: 代々木青少年オリンピックセンター
  • 年月日: 2012-05-16
• [学会発表] 水素環境下における複合DLC膜の超潤滑特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 野坂正隆,椎葉崇,加藤孝久,川口雅弘
  • 学会等名: トライボロジー会議2012春東京
  • 発表場所: 代々木青少年オリンピックセンター
  • 年月日: 2012-05-16
• [学会発表] Properties of DLC film deposited by Plasma Based Ion Implan- tation and Deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Kawaguchi
  • 学会等名: ITC Hiroshima 2011
  • 発表場所: 広島
  • 年月日: 2011-11-03