研究課題
若手研究(B)
大気中の有害ガスの分析などに用いる、シリコンチップ上にガスポンプ・圧力計・ガスセンサ・制御LSIを纏めた「集積化ガスシステム」のための要素技術の研究を行った。小さなシリコンチップ上で気体分子を制御・測定するためには、幅100nm以下・深さ数ミクロンの極めて細い溝(トレンチ)構造が重要であり、従来よりも細いトレンチを形成する「シリコン深堀りエッチングと超臨界流体製膜を用いた狭窄法」を開発した。その手法を用いて「熱伝導圧力センサー」を開発した。
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