• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2012 年度 実績報告書

酸窒化物超格子のピエゾ電界を利用した室温動作エキシトニクスデバイスの創成

研究課題

研究課題/領域番号 23760285
研究機関九州大学

研究代表者

板垣 奈穂  九州大学, システム情報科学研究科(研究院, 准教授 (60579100)

キーワード酸窒化物半導体 / エキシトニックトランジスタ / ピエゾ電界 / スパッタリング / 量子井戸
研究概要

本研究は、酸窒化物半導体を用いて室温動作可能なエキシトニックトランジスタを創成することを目的としている。平成23年度は,主に高効率エキシトン流生成のためのデバイス構造の検討を行い,従来トレードオフの関係にあった“高いエキシトン束縛エネルギー”と“低いエキシトン再結合確率”を両立させる構造として、ZnInONを用いたピエゾ電界誘起型量子構造を考案した.高いエキシトン束縛エネルギーを有するZnOをベースにした新材料ZnInONを用いる事により,高温でも電子と正孔の束縛は解けることなくエキシトンとして存在できる. またデバイスシミュレータを用いた計算により,ピエゾ電界誘起型量子井戸(井戸層:ZnInON、障壁層:ZnO)中のエキシトン再結合レートは、従来構造に比べ約3桁低くなることを明らかにした。これは,量子井戸内に発生した強い内部電界によって,電子―ホールの波動関数の空間的重なりが小さくなるためである。以上の結果は、本提案のデバイス構造により室温でのエキシトン流の高効率生成が可能となることを示している.平成24年度は,ピエゾ電界制御のための新材料ZnInONの高品質成長を行った.本デバイス構造において,ピエゾ電界はZnInON内に生じる結晶歪みにより発生する.具体的にはZnInON井戸層がZnO障壁層に対しコヒーレントに成長した際にピエゾ電界が発生する。この時,結晶欠陥により歪みエネルギーが緩和されるため,結晶成長時においていかに欠陥発生を抑制するかが重要となる.本研究では我々が独自に開発した結晶核制御技術を用いることで,世界で初めて原子平坦面を有するZnInON膜の成長に成功した.またこれにより ZnO上へのZnInON膜のコヒーレント成長を実現させた.今後は,エキシトン寿命に対するピエゾ電界の効果を明らかにするとともに,エキシトン流の高効率生成を試みる.

  • 研究成果

    (21件)

すべて 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (16件) (うち招待講演 5件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Effects of Hydrogen Dilution on ZnO Thin Films Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol. 52 ページ: 01AC08

    • DOI

      DOI:10.7567/JJAP.52.01AC08

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of the energy flux toward the substrate during magnetron sputter deposition of ZnO thin films2013

    • 著者名/発表者名
      S. Bornholdt, N. Itagaki, K. Kuwahara, H. Wulff, M. Shiratani and H. Kersten (S. Bornholdt)
    • 雑誌名

      Plasma Sources Sci. Technol.

      巻: 22 ページ: 025019

    • DOI

      10.1088/0963-0252/22/2/025019

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ZnO:Al Thin Films with Buffer Layers Fabricated via Nitrogen Mediated Crystallization: Effects of N2/Ar Gas Flow Rate Ratio2012

    • 著者名/発表者名
      I. Suhariadi, N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Oshikawa, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, K. Koga, K. Nakahara, M. Shiratani (I. Suhariadi)
    • 雑誌名

      Transactions of the Materials Research Society of Japan

      巻: 37 ページ: 165-168

    • 査読あり
  • [学会発表] ZnO based semiconductors fabricated by impurity mediated crystallization (tentative)2014

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2014
    • 発表場所
      San Francisco, California, United States
    • 年月日
      20140201-20140205
    • 招待講演
  • [学会発表] Sputter deposition of high quality ZnO based semiconductors in Ar/N2 atmosphere (tentative)2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      he 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      20130825-20130830
    • 招待講演
  • [学会発表] Novel Application of Ar/N2 Discharges to Sputtering Growth of High Quality Oxide Semiconductors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The XXXI edition of the International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • 発表場所
      Granada, Spain
    • 年月日
      20130714-20130719
    • 招待講演
  • [学会発表] Sputter Deposition of Single Crystal ZnO Films on 18% Lattice Mismatched c-Al2O3 Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, S. Iping, K. Oshikawa, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, and M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      20130710-20130712
  • [学会発表] スパッタリングにおけるZnNOx膜の初期成長制御とグリーンデバイスへの展開2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      学振153、154、131合同研究会
    • 発表場所
      名古屋大学,愛知
    • 年月日
      20130620-20130620
    • 招待講演
  • [学会発表] 高効率太陽電池の実現に向けた新規酸窒化物半導体ZnInONのバンドギャップエンジニアリング2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      第5回 革新的太陽光発電国際シンポジウム
    • 発表場所
      石川県立音楽堂,石川
    • 年月日
      20130523-20130524
  • [学会発表] スパッタ法によるC面サファイア基板上への原子平坦ZnO薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂, 桑原和成, 山下大輔, 徐鉉雄, 鎌滝晋礼, 内田儀一郎, 古閑一憲, 白谷正治 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川
    • 年月日
      20130328-20130328
  • [学会発表] Sputter deposition of zinc-indium oxynitride semiconductors with narrow bandgap for excitonic transistors2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 発表場所
      名古屋大学,愛知
    • 年月日
      20130201-20130201
  • [学会発表] Sputter Deposition of Atomically-Flat ZnO Films on Lattice Mismatched Substrates via Nitrogen Mediated Crystallization2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, S. Iping, K. Oshikawa, K. Matsushima, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, and M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The Korea Japan Workshop and AJC Meeting
    • 発表場所
      自然科学研究機構 岡崎コンファレンスセンター,愛知
    • 年月日
      20130126-20130126
    • 招待講演
  • [学会発表] Sputter Deposition of Semiconductor-Grade ZnO Based Materials on Lattice Mismatched Substrates for Optoelectronic Applications2013

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      The Collaborative Conference on Materials Research 2013
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2013-06-24
  • [学会発表] Epitaxial Growth of ZnO Based Semiconductors via Impurity-Additive Mediated2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Kuwahara, K. Matsushima, T. Hirose, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      2012 MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, United States
    • 年月日
      20121126-20121126
  • [学会発表] Sputter deposition of Epitaxial Zinc-Indium Oxynitride Films for Excitonic Transistors2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      The 34th International Symposium on Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      20121116-20121116
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Thin Films for Multiple-Quantum–Well Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, T. Hirose, K. Kuwahara, D. Yamashita, H. Seo, K. Kamataki, G. Uchida, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      20121003-20121003
  • [学会発表] Zinc-Indium Oxynitride Semiconductors for Piezo-Electric-Field Effect MQW Solar Cells2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki, K. Matsushima, K. Kuwahara, D. Yamashita, G. Uchida, K. Kamataki, H. Seo, K. Koga, M. Shiratani (N. Itagaki)
    • 学会等名
      IUMRS‐ICEM 2012
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 年月日
      20120927-20120927
  • [学会発表] 高効率量子井戸型太陽電池のための新規酸窒化物半導体薄膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      板垣奈穂、松島宏一、桑原和成、押川晃一郎、Iping Suhariadi、山下大輔、徐鉉雄、鎌滝晋礼、内田儀一郎、古閑一憲、白谷正治 (板垣奈穂)
    • 学会等名
      第9回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
    • 発表場所
      京都テルサ, 京都
    • 年月日
      20120531-20120531
  • [学会発表] Crystallinity control of sputtered ZnO films by utilizing buffer layers fabricated via nitrogen mediated crystallization: Effects of nitrogen flow rate2012

    • 著者名/発表者名
      N. Itagaki
    • 学会等名
      13th International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 発表場所
      Garmisch-Partenkirchen, Germany
    • 年月日
      2012-09-12
  • [備考] 九州大学研究者情報

    • URL

      http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K003622/

  • [産業財産権] 多重量子井戸型太陽電池および多重量子井戸型太陽電池の製造方法2013

    • 発明者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 権利者名
      板垣奈穂,白谷正治,内田儀一郎
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2013/055973
    • 出願年月日
      2013-03-05
    • 外国

URL: 

公開日: 2014-07-24  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi