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2012 年度 実施状況報告書

低エミッタンス・短パルス半導体フォトカソードの開発

研究課題

研究課題/領域番号 23760310
研究機関名古屋大学

研究代表者

金 秀光  名古屋大学, 高等研究院, 特任助教 (20594055)

キーワード半導体フォトカソード / 短パルス / 高量子効率 / 内部電界
研究概要

申請者は、エネルギー回収型リニアック(ERL)用の低エミッタンス・短パルス・高量子効率の半導体フォトカソードの開発を目的にした。短パルスの実現には、電子の速い拡散速度と電子を効率的に真空に取り出すことが必須である。申請者は、半導体超高速デバイスと半導体発光デバイス分野でのアイディアを半導体フォトカソードに生かして、低エミッタンス・短パルス・高量子効率半導体フォトカソードの実現を目指した。
短パルスと高量子効率を実現するために、申請者はフォトカソードに内部電界を印加し、励起電子の移動速度を向上することを試みた。試料はAlGaAs材料を導入し、表面に向かってAl組成を0.2~0までに小さくすることで、400 kV/mの内部電界が生じさせた。
その結果、600 nmの厚さにおいて、内部電界を印加することで、電子ビームの応答性は、35 psより20 ps までに減少することに成功した。また、内部電界は電子を表面に向かって移動させるため、量子効率の向上にも至った。523 nm励起光での量子効率は、内部電界を印加した試料では13%と高く、これは内部電界ない試料の8-9%より、1.5倍の向上である。
我々は、内部電界が電子の速い移動に有効であることを証明した。これは半導体フォトカソード領域では初めである。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

次世代放射光源として、ERLの研究開発が世界数カ国で競争的に進められている。本計画では10 mAの平均電流と20ps以下の短パルスが必要であり、大電流を安定に長時間提供するためには、量子効率の向上が必須である。内部電界を導入したフォトカソードの作製は、この分野において初めての試みであり、パルスの短縮と量子効率の向上に有効であることを見事に確認した。 しかし、今問題になっているのは、得られた電界効果が(240 kV/m)であり、予測値(400 kV/m)より小さいことである。GaInAs系のトランジスタの論文によると、電界が大きくなるとドリップ速度に限界が生じる。われわれの場合、試料界面での電界が不均一であり、ある所では大きすぎます。その影響で電界の効果が小さくなったという理解できる。

今後の研究の推進方策

ERL用の電子ビームは、100 mAの大電流が必須となる。フォトカソードの量子効率が1%の場合、100 mAの電流値を得るためには、10 W以上の励起用レーザー光が必要になる。しかし、10 W級のレーザー光はフォトカソードを加熱、破壊する原因になる。大電流を得るためには、フォトカソードの量子効率を増加して、レーザー光のパーワを低減することと、加熱問題を回避できるフォトカソードの作製することが必須である。
解決すべき点: ① NEA半導体フォトカソードでは、励起光により電子を伝導帯までに励起し、その後、励起電子は表面へ拡散し、NEA表面を介して真空に取り出す。電子の励起過程、拡散過程と取出過程に注目して量子効率に関わる要因を明らかにする。② 10 ps前後のパルス幅で、さらに10 W級の出力が安定な光源としては、現在は波長530 nmのレーザーしかない。530 nmのレーザー光の吸収が起きない基板を用いて、加熱問題を回避することが不可欠である。
裏面照射型フォトカソードでは、励起光をフォトカソードの裏面から収束して照射するために、励起光を吸収しない基板を用いる。励起光を吸収しない基板はまたフォトカソードの加熱問題を避けることになる。本研究で設計・開発した内部電界を導入したフォトカソードを透明な基盤上に作製し、高量子効率かつ加熱を回避できるフォトカソードを開発する。

次年度の研究費の使用計画

本研究で問題になっているのは、得られた電界効果が、予測値より小さいことであり、これは部分的に電界の値がが大きすぎることだと考えられる。
今年度は、内部電界を均一に導入したフォトカソードを作製し、量子効率・パルス測定を行う予定である。

  • 研究成果

    (18件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (10件) (うち招待講演 3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] High performance spin-polarized photocathodes using a GaAs/GaAsP strain-compensated superlattice2013

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, A. Mano, F. Ichihashi, N. Yamamoto, Y. Takeda
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 6 ページ: 0158011~0158013

    • DOI

      10.7567/APEX.6.015801

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mean Transverse Energy Measurement of Negative Electron Affinity GaAs-based2012

    • 著者名/発表者名
      S. Matrsuba, Y. Honda, X.G. Jin, T. Miyajima, M. Yamamoto, T. Uchiyama, M. Kuwahara,
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 0464021~0464027

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.046402

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of thickness modulation in GaAs/GaAsP strained superlattice by TEM observation2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, H. Nakahara, K. Saitoh, T. Saka, T. Ujihara, N. Tanaka, Y. Takeda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 353 ページ: 84~87

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2012.05.017

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fourfold increase of quantum efficiency in highly spin-polarized transmission-type2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, F. Ichihashi, A. Mano, N. Yamamoto, Y. Takeda,
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 51 ページ: 1080041~1080042

    • DOI

      10.1143/JJAP.51.108004

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 30-kV spin-polarized transmission electron microscope using a GaAs-GaAsP strained superlattice photocathode2012

    • 著者名/発表者名
      M. Kuwahara, S. Kusunoki, X.G. Jin, T. Nakanishi, Y. Takeda, K. Saitoh, T. Ujihara, H. Asano, N. Tanaka
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 101 ページ: 0331021~0331024

    • DOI

      10.1063/1.4737177

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of compressive strain relaxation on surface morphology in GaAsP growth on GaP substrate2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, S. Fuchi, Y. Takeda
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 370 ページ: 204~207

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2012.09.008

    • 査読あり
  • [学会発表] Novel development of very high brightness and highly spin-polarized electron gun with compact 3D spin manipulator2012

    • 著者名/発表者名
      T.Koshikawa, T.Yasue, M.Suzuki, K.Tsuno, S.Goto, X.G. Jin and Y.Takeda
    • 学会等名
      第11回顕微ナノ材料科学研究会
    • 発表場所
      慶應義塾大学 (東京都)
    • 年月日
      20121116-20121117
    • 招待講演
  • [学会発表] 高輝度・高スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡の開発とスピントロニクス磁性2012

    • 著者名/発表者名
      越川 孝範、鈴木 雅彦、安江 常夫、E. Bauer、 中西 彊、金 秀光、
    • 学会等名
      第53回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      甲南大学 (兵庫県)
    • 年月日
      20121114-20121116
    • 招待講演
  • [学会発表] High performance spin-polarized photocathode using strain compensated superlattice2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, A. Mano, F. Ichihashi, N. Yamamoto, Y. Takeda
    • 学会等名
      8th international workshop on LEEM/PEEM
    • 発表場所
      Regal Kowloon Hotel (Hong kong)
    • 年月日
      20121111-20121115
  • [学会発表] Picosecond electron bunch from GaAs/GaAsP strained superlattice photocathode2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, S. Matsuba, T. Miyajima, Y. Honda, M. Yamamoto, T. Utiyama, Y. Takeda
    • 学会等名
      8th international workshop on LEEM/PEEM
    • 発表場所
      Regal Kowloon Hotel (Hong kong)
    • 年月日
      20121111-20121115
  • [学会発表] Development of novel compact spin-polarized electron gun2012

    • 著者名/発表者名
      T.Koshikawa, T.Yasue, M.Suzuki, K.Tsuno, S.Goto, X.G. Jin, Y.Takeda
    • 学会等名
      8th international workshop on LEEM/PEEM
    • 発表場所
      Regal Kowloon Hotel (Hong kong)
    • 年月日
      20121111-20121115
  • [学会発表] Development of high performance photocathodes for microscopy and accelerator2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, F. Ichihashi, A. Mano, N. Yamamoto, Y. Takeda, M. Yamamoto,
    • 学会等名
      Photocathode Physics for Photoinjectors
    • 発表場所
      Cornell University (USA)
    • 年月日
      20121008-20121010
    • 招待講演
  • [学会発表] High performance spin-polarized photocathode for microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, F. Ichihashi, A. Mano, N. Yamamoto, M. Suzuki, T. Yasue, T. Koshikawa,
    • 学会等名
      14th Joint Vacuum Conference
    • 発表場所
      Libertas Rixos Hotel (Croatia)
    • 年月日
      20120604-20120608
  • [学会発表] Effect of compressive strain relaxation on surface morphology in GaAsP growth on GaP2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, S. Fuchi, Y. Takada
    • 学会等名
      16th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      Paradise Hotel (Korea)
    • 年月日
      20120520-20120525
  • [学会発表] Effects of mis-orientation of crystal planes on thickness modulation in GaAs/GaAsP strained superlattice2012

    • 著者名/発表者名
      X.G. Jin, H. Nakahara, K. Saitoh, T. Saka, H. Katruno, N. Tanaka, Y. Takeda
    • 学会等名
      16th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      Paradise Hotel (Korea)
    • 年月日
      20120520-20120525
  • [学会発表] Initial emittance and temporal response measurement for GaAs based photocathodes2012

    • 著者名/発表者名
      S. Matsuba, Y. Honda, T. Miyajima, T. Uchiyama, M. Yamamoto, X.G. Jin, Y. Takeda
    • 学会等名
      International Particle Accelerator Conference 2012
    • 発表場所
      Morial Convention Center(USA)
    • 年月日
      20120520-20120525
  • [産業財産権] スピン偏極電子発生素子及びその作製方法2012

    • 発明者名
      金 秀光、渕 真悟、竹田美和
    • 権利者名
      金 秀光、渕 真悟、竹田美和
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-108186
    • 出願年月日
      2012-05-01
  • [産業財産権] 半導体フォトカソード2012

    • 発明者名
      金 秀光、竹田美和、山本将博、宮島 司、本田洋介
    • 権利者名
      金 秀光、竹田美和、山本将博、宮島 司、本田洋介
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-221001
    • 出願年月日
      2012-10-01

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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