空間周波数コム光源を用いた計測システムの開発

2013 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 23760366
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 計測工学
• 研究機関: 新潟大学
• 研究代表者: 崔 森悦 新潟大学, 自然科学系, 助教 (60568418)
• 研究期間 (年度): 2011 – 2013
• キーワード: 形状計測 / 光周波数コム / 光空間変調 / 干渉計測 / 光コヒーレンストモグラフィ

研究概要

光干渉計は、光波の干渉を利用して測定物体の様々なパラメータ（長さ、形状、断層、膜厚、歪み、分光特性等）を測ることができる。そのため、古くから産業界での製品検査装置から医療検査装置まで幅広く用いられている。我々は、通常の白色干渉法では計測が難しい薄膜の反射面形状計測に主眼を置き、とびとびの離散的な周波数成分から成る波長幅の広い特殊な光の周波数成分を走査可能な光源をSuper luminescent diodeと空間周波数フィルタ及び空間光変調器を用いて制作し、その干渉特性を生かした新しい計測システムを開発した。

研究成果

• [雑誌論文] Multi-frequency scanning interferometry using variable spatial spectral filter (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, R. Sato, H. Kato, O. Sasaki, and T. Suzuki
  • 雑誌名: Opt. Commun 巻: vol. 316 ページ: 168-173
  • DOI: 10.1016/j.optcom.2013.12.015
  • 査読あり
• [雑誌論文] Two-wavelength multi-gigahertz frequency comb-based interferometry for full-field profilometry (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, K. Kashiwagi, S. Kojima, Y. Kasuya, and T. Kurokawa
  • 雑誌名: Appl. phys. express 巻: vol. 6 ページ: 106601-4
  • DOI: 10.7567/APEX.6.106601
• [雑誌論文] Low-coherence interferometry based on continuous wavelet transform (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, H. Matsui, S. Choi, and O. Sasaki
  • 雑誌名: Opt. Commun 巻: vol. 311 ページ: 172-176
  • DOI: 10.1016/j.optcom.2013.08.018
• [雑誌論文] Profile measurement of glass sheet using multiple wavelength backpropagation interferometry (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, K. Otsuki, O. Sasaki, and T. Suzuki
  • 雑誌名: Appl. Opt 巻: vol. 52 ページ: 3726-3731
  • DOI: 10.1364/AO.52.003726
• [雑誌論文] マルチギガヘルツコム発生技術とその応用,アドコムメディア (2013)
  • 著者名/発表者名: 柏木謙、崔森悦、塩田達俊、田中洋介、黒川隆志
  • 雑誌名: O plus E 巻: Vol. 35 ページ: 1155-1160
  • URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/20090422/201302288099323351
• [雑誌論文] Multi-gigahertz frequency comb-based interferometry using frequency-variable supercontinuum generated by optical pulse synthesizer (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, K. Kasiwagi, Y. Kasuya, S. Kojima, T. Shioda, and T. Kurokawa
  • 雑誌名: Opt. Expres 巻: vol. 20 ページ: 27820-9
  • DOI: 10.1364/OE.20.027820
  • 査読あり
• [雑誌論文] Utilization of frequency information in a linear wavenumber-scanning interferometer for profile measurement of a thin film (2012)
  • 著者名/発表者名: O. Sasaki, S. H.irakubo, S. Choi, and T. Suzuki
  • 雑誌名: Appl. Opt 巻: vol. 51 ページ: 2429-2435
  • DOI: 10.1364/AO.51.002429
• [雑誌論文] Phase-shifting laser diode interferometer using pulse modulation (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, T. Adachi, O. Sasaki, and S. Choi
  • 雑誌名: Appl. Opt 巻: vol. 51 ページ: 4109-4112
  • DOI: 10.1364/AO.51.004109
• [雑誌論文] 多波光応用技術光周波数コムの発生と干渉計測への応用,アドコムメディア (2012)
  • 著者名/発表者名: 崔森悦、柏木謙、黒川隆志
  • 雑誌名: O plus E 巻: Vol. 34,No.4 ページ: 314-319
• [雑誌論文] Rapid wavelength scanning based on acousto-optically tuned external-cavity laser diode (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, R. Nagai, O. Sasaki, and S. Choi
  • 雑誌名: Opt. Commun 巻: vol. 284 ページ: 4615-8
  • URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/20090422/201202289355502780
  • 査読あり
• [学会発表] 空間スペクトラルフィタを用いた多波長走査干渉計測 (2013)
  • 著者名/発表者名: 佐藤瞭子,崔森悦,佐々木修己,鈴木孝昌
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2013
  • 発表場所: 奈良県新公会堂
  • 年月日: 2013-11-14
• [学会発表] 液晶型空間光変調器を用いた多波長光の生成と干渉計測への応用 (2013)
  • 著者名/発表者名: 高塚駿亮,崔森悦,佐々木修己,鈴木孝昌
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2013
  • 発表場所: 奈良県新公会堂
  • 年月日: 2013-11-14
• [学会発表] OCT based on multi-frequency sweeping Fizeau interferometer with phase modulating method (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, O. Sasaki, T. Watanabe, T. Suzuk
  • 学会等名: Proceedings of SPIE
  • 発表場所: San Diego convention center
  • 年月日: 2013-08-25
• [学会発表] Multi-frequency light source using spatial light modulator for profilometry (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, S. Takatsuka, O. Sasaki, T. Suzuki
  • 学会等名: The 10th conference on lasers and electro-optics Pacific Rim (CLEO-PR 2013) WPF-15
  • 発表場所: 国立京都国際会館
  • 年月日: 2013-07-03
• [学会発表] Multi-frequency sweeping interferometry using spatial optical frequency modulation (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, O. Sasaki, and T. Suzuki
  • 学会等名: Proceedings of SPIE
  • 発表場所: Beijing international convention center
  • 年月日: 2012-11-06
• [学会発表] Multi-frequency Sweeping Sinusoidal Phase Modulated Fizeau Interferometer for OCT (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, J. Hukumoto, O. Sasaki, and T. Suzuki
  • 学会等名: The 17th OptoElectronics and Communications Conference
  • 発表場所: BEXCO Busan
  • 年月日: 2012-07-05
• [学会発表] 空間周波数フィルタを用いたコム光源を用いた干渉計測 (2011)
  • 著者名/発表者名: 加藤平一,崔森悦,佐々木修己,鈴木孝昌
  • 学会等名: Optics & Photonics Japan 2011
  • 発表場所: 大阪大学吹田キャンパス
  • 年月日: 2011-11-29
• [学会発表] Frequency comb generator using spatial frequency optical filter and its interferometric characteristics (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Choi, H. Kato, O. Sasaki, and T. Suzuki
  • 学会等名: The ninth Japan-Finland Joint Symposium on Optics in Engineering
  • 発表場所: Radisson Blue Marina Palace Hotel
  • 年月日: 2011-09-08
• [備考]
  • URL: http://optlab.eng.niigata-u.ac.jp/res.html