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2012 年度 実績報告書

熱検知接触型センサによるウェハ表面欠陥の高感度検出技術に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 23860005
研究機関東北大学

研究代表者

清水 裕樹  東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (70606384)

研究期間 (年度) 2011-08-24 – 2013-03-31
キーワード接触センサ / 摩擦熱 / デフェクト / ウエハ検査
研究概要

本研究では,次世代ウエハなどナノレベル平滑面に要求される微小欠陥検出実現を目的とし,軽微な接触で発生する極小摩擦熱を熱検知素子抵抗値の変化に変換して表面微小突起を検出する,全く新しい微小欠陥検出原理の確立に取り組んだ.最終年度となる本年度は,【検討1】熱検知センサ構造の最適化設計,【検討2】熱検知センサシステムの試作および【検討3】微小デフェクト検出デモを目標とし検討を進めた.
【検討1】では,前年度構築の有限要素モデルをもとに,熱検知素子の幅,厚さ及び設置深さに関するサーベイを実施して提案手法による微小突起検出実現の可能性を検討し,素子を薄膜で構成し,かつそのサイズをマイクロメートルオーダに設定することで微小突起が検出できる可能性を見出した.
これに続き【検討2】では,素子試作工程を検討し,サイズ10~30μm四方,厚さ100nmのプロトタイプ素子試作に成功し,またより小さなマイクロサイズ素子実現の見通しを得た.更に,集光レーザ利用の微小熱印加システムを構築し,素子サイズと感度との関係を実験的に明らかにした.一方,今回試作の熱検知素子は感度を有する部分が30nmほど窪んだ構造となった.この点については,25~26年度採択課題(若手(B))における設計変更で対応予定である.
【検討3】では,試作素子の高感度部分が窪んだ構造となったため,デフェクト検出デモに替わりマイクロ球を用いた摩擦実験装置を構築し,微小摩擦熱と素子出力の関係を実験的に検討し,素子サイズと摩擦熱検知感度との関係を明らかにした.
以上,FEMシミュレーション及び試作プロトタイプ素子による実験的検討の結果より,提案の計測原理で微小欠陥検出が実現可能である見通しを得た.一方で,その実現にはマイクロサイズでの熱検知素子製作が必要で,今後,25~26年度採択課題(若手(B))で引き続き検討を進める.

現在までの達成度 (区分)
理由

24年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

24年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (6件) (うち招待講演 2件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Design and Experiment of Thermal Contact Sensor Detecting Defects on Si Wafer Surface2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: Vols. 523-524 ページ: 826-831

    • DOI

      DOI:10.4028/www.scientific.net/KEM. 523-524.826

    • 査読あり
  • [雑誌論文] New Measurement Concept of Nanometer-Level Defects on Si Wafer Surface by Using Micro Contact Sensor2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, Wei Gao
    • 雑誌名

      Advanced Materials Research

      巻: Volume 497 ページ: 137-141

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/AMR.497.137

    • 査読あり
  • [学会発表] Feasibility study on the concept of thermal contact sensor for nanometer-level defect inspections on smooth surfaces2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Yuta Ohba, Wei Gao
    • 学会等名
      The 11th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2013)
    • 発表場所
      Aachen and Braunschweig (Germany)
    • 年月日
      20130701-20130705
  • [学会発表] 表面欠陥検出向け接触型熱検知素子の試作2013

    • 著者名/発表者名
      盧文剣,清水裕樹,大場裕太,高偉 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本機械学会 東北支部第48期総会・講演会
    • 発表場所
      宮城県仙台市
    • 年月日
      20130315-20130315
  • [学会発表] Design and experiment of thermal contact sensor detecting defects on Si wafer surface2012

    • 著者名/発表者名
      Wenjian Lu, Yuki Shimizu, So Ito, Wei Gao (Yuki Shimizu)
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      Awaji-shi (Hyogo, Japan)
    • 年月日
      20121108-20121110
  • [学会発表] 接触型熱検知センサによる平滑面欠陥検出の実験的原理検討2012

    • 著者名/発表者名
      盧文剣,清水裕樹,大場裕太,高偉 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本機械学会 第9回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      秋田県由利本荘市
    • 年月日
      20121027-20121028
  • [学会発表] Design of a Micro-sized Thermal Contact Sensor for Inspection of Surface Defects2012

    • 著者名/発表者名
      Yuki Shimizu, Wenjian Lu, Wei Gao (Yuki Shimizu)
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      Wako-shi (Saitama, Japan)
    • 年月日
      20120725-20120727
    • 招待講演
  • [学会発表] ヘッド組み込み型熱検知センサを用いた磁気ディスク表面のナノ微小欠陥検出技術2012

    • 著者名/発表者名
      清水裕樹,徐鈞国,小平英一 (清水裕樹)
    • 学会等名
      日本トライボロジー学会 トライボロジー会議2012 春 東京
    • 発表場所
      東京都代々木区
    • 年月日
      20120514-20120516
    • 招待講演
  • [備考] 東北大学, 大学院 工学研究科, ナノメカニクス専攻 高・清水・伊東研究室

    • URL

      http://www.nano.mech.tohoku.ac.jp/

  • [産業財産権] 平滑面検査装置2012

    • 発明者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 権利者名
      清水裕樹,高偉,盧文剣
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2012-097818
    • 出願年月日
      2012-04-23

URL: 

公開日: 2014-07-24  

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