2012 年度研究成果報告書

MEMS共振器を用いた環境電波による発電の研究

研究課題

研究課題/領域番号	23860022
研究種目	研究活動スタート支援
配分区分	補助金
研究分野	電子デバイス・電子機器
研究機関	電気通信大学
研究代表者	石橋孝一郎電気通信大学, 情報理工学研究科, 教授 (50614038)
研究期間 (年度)	2011 – 2012
キーワード	MEMS / エネルギーハーベスティング
研究概要	MEMS共振器を共振させて電波のエネルギーを蓄積し、極低電力の無線LSIチップを駆動できる電力を取得する研究を行った。梁の長さ50umのカンチレバー型及び半径50umの円環型のMEMS共振器を考案し解析を行った結果、共振時の弾性エネルギーをカンチレバー型の5.7E-11[J]から円環型の8.2E-10[J]と1桁以上の向上を期待できることを明らかにした。円環型のMEMS共振器の製作を行ない、解析した共振周波数に近い996KHzの共振周波数特性を観測した。