研究課題
研究活動スタート支援
MEMS共振器を共振させて電波のエネルギーを蓄積し、極低電力の無線LSIチップを駆動できる電力を取得する研究を行った。梁の長さ50umのカンチレバー型及び半径50umの円環型のMEMS共振器を考案し解析を行った結果、共振時の弾性エネルギーをカンチレバー型の5.7E-11[J]から円環型の8.2E-10[J]と1桁以上の向上を期待できることを明らかにした。円環型のMEMS共振器の製作を行ない、解析した共振周波数に近い996KHzの共振周波数特性を観測した。
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