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2012 年度 研究成果報告書

ハイドライド気相成長法による低転位非極性面GaN基板の作製技術 の開発

研究課題

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研究課題/領域番号 23860033
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関山口大学

研究代表者

山根 啓輔  山口大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (80610815)

研究期間 (年度) 2011 – 2012
キーワードハイドライド気相成長 / 窒化ガリウム基板 / 非極性面
研究概要

ハイドライド気相成長法を用いて、高効率発光素子材料として期待される非極性{10-11}面、{11-22}および{20-21}面 GaN 基板の作製を行った。基板の作製には我々の独自技術であるサファイア加工基板上結晶成長技術を用いた。{10-11}面 GaNでは厚膜化に伴い、欠陥密度が急激に減少することが明らかになった。サファイア加工基板上と従来サファイア基板上において、厚膜成長した際の自発分離機構を明らかにした。最終的には発光ダイオードを試作し、我々が作製した GaN 基板がデバイスレベルで利用可能であることを示した。

  • 研究成果

    (10件)

すべて 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (3件) 学会発表 (3件) 備考 (1件) 産業財産権 (3件) (うち外国 1件)

  • [雑誌論文] Semipolar GaN growth on patterned sapphire substrates by hydride vapor phase epitaxy2013

    • 著者名/発表者名
      K. Yamane, N. Okada, H. Furuya, K. Tadatomo
    • 雑誌名

      Proc. SPIE 8625 (2013)

      巻: 862503-1 ページ: 7

  • [雑誌論文] Reduction in Dislocation Density of Semipolar GaN Layers on Patterned Sapphire Substrates by Hydride Vapor Phase Epitaxy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yamane, M. Ueno, K. Uchida, H. Furuya, N. Okada, K. Tadatomo
    • 雑誌名

      Applied Physics Express 5

      巻: 095503. ページ: 3

  • [雑誌論文] Successful natural stress-induced separation of hydride vapor phase epitaxy-grown GaN layers on sapphire substrates2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yamane, M. Ueno, H. Furuya, N. Okada, K. Tadatomo
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth 358

      巻: 1 ページ: 4

  • [学会発表] Hydride Vapor Phase Epitaxy growth of Semipolar GaN on Patterned Sapphire Substrates2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yamane, M. Ueno, K. Uchida, H. Furuya, N. Okada, K. Tadatomo
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      20121014-19
  • [学会発表] Fabrication of large freestanding semipolar {11-22} GaN lms using r-plane patterned sapphire substrates2012

    • 著者名/発表者名
      H. Furuya, K. Yamane, N. Okada, K. Tadatomo
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      20121014-19
  • [学会発表] Behavior of Hydride Vapor Phase Epitaxy-Grown GaN Layers on Sapphire Substrates in Successful Natural Stress-Induced Separation2012

    • 著者名/発表者名
      K. Yamane, M. Ueno, H. Furuya, N. Okada, K. Tadatomo
    • 学会等名
      39th International Symposium on Compound Semiconductors
    • 発表場所
      University of California, California, USA
    • 年月日
      20120826-30
  • [備考] ホームページ

    • URL

      http://device.eee.yamaguchi-u.ac.jp/

  • [産業財産権] 半導体装置の製造方法及びIII-IV族半導体の結晶成長方法2013

    • 発明者名
      山根啓輔, 只友一行, 岡田成仁
    • 権利者名
      山口大学
    • 産業財産権番号
      特願 2013-47175
    • 出願年月日
      2013-03-08
  • [産業財産権] 自立基板の製造方法2013

    • 発明者名
      古家大士, 東正信, 只友一行, 岡田成仁, 山根啓輔.
    • 権利者名
      山口大学
    • 産業財産権番号
      PCT/JP2013/001111
    • 出願年月日
      2013-02-26
    • 外国
  • [産業財産権] 自立基板の製造方法2012

    • 発明者名
      古家大士, 東正信, 只友一行, 岡田成仁, 山根啓輔
    • 権利者名
      山口大学・株式会社トクヤマ
    • 産業財産権番号
      特願 2012-039485
    • 出願年月日
      2012-02-27

URL: 

公開日: 2014-08-29  

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