| 研究課題/領域番号 |
23H00155
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 北海道大学 |
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研究代表者 |
田口 敦清 北海道大学, 電子科学研究所, 准教授 (70532109)
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| 研究分担者 |
矢地 謙太郎 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (90779373)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2028-03-31
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| 研究の概要 |
近接場ラマン顕微鏡を深紫外領域に展開し、光の回折限界を超える10 nm以下の高分解能でナノ構造を観察できるイメージング装置の開発を行う研究である。これをもとに、次世代の集積ナノデバイスの新しい画像分析評価装置、およびデバイス開発やプロセス構築、ナノ医療分野への展開を図るものである。
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| 学術的意義、期待される成果 |
大気中において10nm以下の分解能を有する顕微鏡が開発されることは、学術界・産業界において極めて有用である。特に、アルミニウムによる表面プラズモンポラリトンの深紫外励起や反射対物レンズの液浸化技術による開口数増強等、この顕微鏡を実現するための数々の要素技術の深化も期待され、学術的意義も高い。
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