| 研究課題/領域番号 |
23H00267
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(A)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 審査区分 |
中区分29:応用物理物性およびその関連分野
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
梶原 優介 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (60512332)
|
|---|
| 研究分担者 |
木村 文信 東京大学, 生産技術研究所, 助教 (10739311)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2027-03-31
|
| 研究の概要 |
高電子移動度トランジスタ（HEMT）などの半導体集積回路の微細化に伴って問題となってきた、ナノスケールの熱や熱輸送の分布の計測手法を開発する研究である。２本のカーボンナノチューブを探針として、物質の表面に生じる熱励起エバネッセント波の散乱を利用した高分解能の熱スペクトルを検出できる顕微鏡を開発する。
|
| 学術的意義、期待される成果 |
従来の熱計測とは一線を画し、数１０ナノメートルの空間分解能で高精度計測が可能な顕微鏡は、半導体産業からの高いニーズに応えるあたらしい計測法であり、学術的意義が非常に高い研究である。また、本顕微技術はフォノン伝導に関する学問の理解にも繋がり、 AFMやSTMなどのナノサイエンスを支える重要な技術に発展できる可能性がある。
|
