| 研究課題/領域番号 |
23K03618
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
山口 桂司 京都工芸繊維大学, 機械工学系, 准教授 (00609282)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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| キーワード | UV / オゾン水 / ウルトラファインバブル / SiC / 研磨 |
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| 研究実績の概要 |
改質オゾン水を用いたUVアシスト研磨を実施するため，加工装置にウェットチャンバーを設置する改良を加えた．この装置は，対向する2つのスピンドルを有しており，片方のスピンドルには揺動機構を備えている．改質オゾン水による腐食を考慮し，SUS316L材を中心に耐食性の高い材料を用いてチャンバーを設計・製作した．当初，令和5年度中に完成させる予定で進めていたが，各部に不具合が発生したため，設計変更等を加えることによって完成に遅れが生じた．
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
3: やや遅れている
理由
当初，令和5年度中に完成させる予定で進めていたが，各部に不具合が発生したため，設計変更等を加えることによって完成に遅れが生じた．また，令和5年度中に実施する予定だったESRによるラジカル生成特性の評価については，当該分析装置の利用状況が過密だったため，実施できていない．
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| 今後の研究の推進方策 |
今後は，令和5年度中に実施できなかった加工装置のテストを実施し，追って改質オゾン水の効果を検証する実験を行う．ただし，遅れを取り戻すため，加工条件当たりの実験実施回数を5回から3回に減らす．同時に，ESRによる各種オゾン水の分析を令和5年初旬に実施し，そのラジカル生成特性を明らかにする．
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