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2022 年度 実績報告書

マイクロ・ナノ細線の高強度接合法の確立と長尺ウイスカの実現

研究課題

研究課題/領域番号 22H01350
配分区分補助金
研究機関東北大学

研究代表者

燈明 泰成  東北大学, 工学研究科, 教授 (50374955)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
キーワード金属ウイスカ / グラファイトウイスカ / 接合 / 高強度 / 長尺化 / 直流電流 / 交流電流 / 結晶粒
研究実績の概要

1. 電源が選択可能な接合実験システムの構築 現有の走査型電子顕微鏡内に、XYステージとZステージ、高精度マニピュレータを独立に配置したサンプルホルダを試作して設置した。電子顕微鏡のフィードスルーを介して直流電流と交流電流を導入し、接合に用いる電源を選択可能にした。実際に基板上に作製したAlウイスカをマニピュレータにより操作・把持すると共に通電することで、構築した実験システムの有用性を確認した。
2. 直流電流を用いた金属細線の接合と熱エネルギーの算出 融点や電気抵抗率の異なるPt、Cu、Fe、Al細線同士の接合実験を行った。細線の直径範囲は0.5~50umであり、Fe、Al細線は原子拡散現象を利用して作製した。様々な通電区間長さにおいて直流電流を用いた接合実験を行い、電極間電圧の時間変化より接合時の熱エネルギー量を算出した。接合した直径20umのPt細線について引張試験を実施し、引張強度と接合に要した熱エネルギー量との間に相関があることを確認した。また接合した直径25umのCu細線の接合部近傍の結晶組織を詳細に観察することで、接合部から60um以内の領域で結晶粒が大きく成長していることを確認した。
3. 交流電流を用いた金属細線の接合実現 直径20umのPt細線を対象として交流電流を用いた接合実験を行った。直流電流を用いて接合に成功した電流値を最大振幅とする1Hzの交流電流を細線に10秒間付与することにより、細線同士の接合にはじめて成功した。この時の入力熱量は直流電流を用いた場合のそれと比較しておよそ1/3であった。また電流の最大振幅のみならず、周波数や電流波形を変えることでも細線接触部の溶融挙動が変化することを確認した。
加えて原子拡散現象を利用して作製したCu細線の電流-電圧特性を計測すると共に、当該特性の変化から水中のエタノールが検知できることを確認した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

研究実績の概要に記載の通り、申請時に計画した研究を遂行し、走査型電子顕微鏡内に独自の実験システムを構築すると共に、当該システムを利用して交流電流を用いた金属細線の接合にはじめて成功した。更に接合した細線の引張試験を実施し、引張強度と接合時の熱エネルギー量との間に相関があることを見出すなど、進展は順調である。

今後の研究の推進方策

交流電流を用いた金属細線の接合実験を更に進め、接合条件を記述する。また直流電流と交流電流を用いて様々な条件で接合した細線の引張試験を行い、高強度な接合が実現できた接合条件を特定する。更に製造条件の制御により原子拡散現象を利用してより長いAlウイスカと、熱電機能の創出のためにFeウイスカを作製する。

  • 研究成果

    (11件)

すべて 2023 2022 その他

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 2件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Grain Growth of Cu Wires during Joule Heat Welding2023

    • 著者名/発表者名
      H. Tohmyoh, T. Sakatoku
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 41 ページ: 012206, 6 pages

    • DOI

      10.1116/6.0002337

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication of Cu Oxide/TiO2 p-n Nanojunctions by Stress-Induced Migration2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Kimura, H. Tohmyoh
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 133 ページ: 114302, 7 pages

    • DOI

      10.1063/5.0136274

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of Thick and Long Fe Oxide Whiskers from Fe Plate Covered with SiO2 Layer2022

    • 著者名/発表者名
      T.H. Ludwig, H. Tohmyoh
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 597 ページ: 126849, 7 pages

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2022.126849

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Copper Oxide Solution Sensor Formed on a Thin Film Having Nanowires for Detecting Ethanol in Water2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Kimura, H. Tohmyoh
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 38 ページ: 11573, 8 pages

    • DOI

      10.1021/acs.langmuir.2c01160

    • 査読あり
  • [学会発表] ジュール熱により接合した銅マイクロ細線の引張強度について2022

    • 著者名/発表者名
      酒徳 大河, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M2022材料力学カンファレンス
  • [学会発表] 曲げと引張負荷に対する単一毛髪の構造弾性率の比較について2022

    • 著者名/発表者名
      野村 康太, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本機械学会 M&M2022材料力学カンファレンス
  • [学会発表] Formation of Long Al and Fe Whiskers by Using Stress-Induced Migration2022

    • 著者名/発表者名
      T.H. Ludwig, H. Tohmyoh
    • 学会等名
      International Conference on Materials and Processing 2022
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical Characteristics of p-CuO Nanowire/n-TiO2 Thin Film Heterojunctions Fabricated by Stress-Induced Migration2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Kimura, H. Tohmyoh
    • 学会等名
      MNC2022, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 国際学会
  • [学会発表] 薄板型熱発電素子の積層による熱電性能の向上について2022

    • 著者名/発表者名
      今田 将勢, 木村 由斉, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本機械学会 第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [学会発表] 幾何学的形状の異なる酸化銅ナノワイヤセンサの液体センシング性能について2022

    • 著者名/発表者名
      木村 由斉, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本機械学会 第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • [備考] 燈明研究室

    • URL

      https://web.tohoku.ac.jp/tohmyoh/index.html

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公開日: 2023-12-25  

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