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2016 年度 研究成果報告書

極限環境パワー半導体の異相界面科学

研究課題

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研究課題/領域番号 24226017
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関大阪大学

研究代表者

菅沼 克昭  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (10154444)

研究分担者 長尾 至成  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (10315054)
菅原 徹  大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (20622038)
酒 金テイ  大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (00467622)
研究協力者 Lin Shih-kang  National Cheng Kung University, Assoc. Prof.
研究期間 (年度) 2012-05-31 – 2017-03-31
キーワード電気接続・配線 / パワー半導体 / 異相界面 / 焼結接合 / Nano-Volcanic Eruption
研究成果の概要

低温・低圧・無加圧下のAg焼結接合技術の革新を進め、その基本メカニズムを高分解能TEM観察とシミュレーションから明らかにした。Ag粒界へ酸素の吸収、粒界液相形成、粒界液相が噴火し表面堆積する。この一連の反応で粒子間低温焼結や接合界面形成が実現しており、これを”Nano Volcanic Eruption”と名付けた。新技術により、250℃を超える耐熱性が達成されている。また、雰囲気との反応をCu粒子へ展開し、その可能性を見出している。以上のように、極限環境に対応する新接合技術の開発、そのメカニズム解明、さらに、Cuへの展開など、学術的に新たな現象解明から実用レベルの技術開発まで繋げている。

自由記述の分野

工学

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公開日: 2018-03-22  

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