研究課題/領域番号 |
24241025
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研究種目 |
基盤研究(A)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
環境技術・環境材料
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研究機関 | 高知工科大学 |
研究代表者 |
山本 哲也 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 教授 (30320120)
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研究分担者 |
宋 華平 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 助教 (00611831)
牧野 久雄 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 准教授 (40302210)
岸本 誠一 高知工業高等専門学校, その他部局等, その他 (90177816)
野本 淳一 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 助教 (30711288)
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連携研究者 |
小林 啓介 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 客員教授 (50372149)
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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キーワード | グリーンケミストリ / 水素センサー / 半導体センサー / 酸化物半導体 / 酸化亜鉛 / 導電性薄膜 |
研究成果の概要 |
本研究では、センサー(導電性酸化亜鉛薄膜(膜厚50 nm)が感材)動作温度は 170 ℃、応答時間は、ほぼ 1s及び検知電流変化は 0.1 mA なる成果が得られた。動作温度に関しては、従来技術(典型的な温度は300℃)と比較すると大幅な低温化が実現された。応答時間に関しては、従来の ~20s(半導体センサー)と比較すると高速化が実現された。電源に関しては、直流だけではなく、交流をも使用が可能であることが確認された(特許出願済)。
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自由記述の分野 |
固体物理学、半導体物理学
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