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2015 年度 実績報告書

走査型プローブ顕微鏡技術を利用したナノ接合界面の形成と解析

研究課題

研究課題/領域番号 24246014
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

富取 正彦  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (10188790)

研究分担者 高村 禅  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (20290877)
笹原 亮  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 助教 (40321905)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワード表面・界面物性 / 走査プローブ顕微鏡 / ナノコンタクト / 物性実験
研究実績の概要

独自開発の走査型プローブ顕微鏡(SPM)技術を発展させ、探針-試料間隔を精密制御し、両者間の状態を「トンネル障壁介在状態、化学結合が形成され始める疑似接触、ナノ接触、加圧接触、引上げ伸展、破断」へと推移させ、その形成過程、表面・界面の結合・界面準位などの電子状態の変化を解析することが本研究の目的である。探針と試料の相互作用力、流れる電流(トンネル電流、接触電流、変位電流)、エネルギー損失(非接触原子間力顕微鏡(nc-AFM)の力センサーを一定振幅で振動させるために必要なエネルギーの変化)の同時測定の高度化を実施した。金と金の原子接点を対象として、探針と試料を引き離していくことによって、接触電流(コンダクタンス)の変化、等価バネ定数(探針付縦振動モード水晶振動子の共振周波数変化)、エネルギー損失を同時計測した。接点が細くなると、量子化コンダクタンスG0の整数倍のコンダクタンスが現れ、それに伴って、等価バネ定数が減少した。また、エネルギー損失にもコンダクタンスの変化時にわずかな応答が現れた。接点が原子数個から構成される程に細くなった際の、原子と原子を結びつけている等価バネの個数とその組み合わせ方で発生する変化を捉えたと推定している。金接点で偶発的に発生する引っ張り方向の結晶軸(主に[110]と[111]方向)の依存性を見いだした。また、チャージアンプを組み込んだnc-AFMで、力センサーの振動に応じて発生する変位電流を基に、探針と試料間の接触電位差・静電容量の変化を高速走査で捉える手法を発展させた。探針と試料の高さを一定に保った走査で、チャージアンプの出力から得られる原子像が原子スケールの接触電位差の変化に相当すること、力センサーの振動変化から静電容量の探針-試料間距離依存性を推量できることを見いだした。さらに、Siや酸化物表面と水などとの界面形成を詳細に調べた。

現在までの達成度 (段落)

27年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (20件)

すべて 2016 2015

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 謝辞記載あり 4件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 4件)

  • [雑誌論文] Evaluation and optimization of quartz resonant-frequency retuned fork force sensors with high Q factors, and the associated electric circuits, for non-contact atomic force microscopy2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Ooe, Mikihiro Fujii, Masahiko Tomitori, Toyoko Arai
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 87 ページ: 023702-1, 8

    • DOI

      10.1063/1.4941065

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Atomic-scale electric capacitive change detected with a charge amplifier installed in a non-contact atomic force microscope2016

    • 著者名/発表者名
      Makoto Nogami, Akira Sasahara, Toyoko Arai, Masahiko Tomitori
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 ページ: 046601-1, 4

    • DOI

      10.7567/apex.9.046601

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Water wettability of Si(111) and (001) surfaces prepared to be reconstructed, atomic-hydrogen terminated and thinly oxidized in an ultrahigh vacuum chamber2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Miyagi, Akira Sasahara, Masahiko Tomitori
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 349 ページ: 904-910

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2015.04.176

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Difference in etching between Si(111) and (001) surfaces induced by atomic hydrogen irradiation observed by noncontact atomic force microscopy2015

    • 著者名/発表者名
      Tomoaki Miyagi Akira Sasahara Masahiko Tomitori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 ページ: 08LB08-1, 5

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.08LB08

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] チャージアンプを備えたnc-AFMによる表面電子状態解析2016

    • 著者名/発表者名
      野上真、新井豊子、笹原亮、富取正彦
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-18 – 2016-03-22
  • [学会発表] 真空中で石英から昇華させたSiOのルチルTiO2(110)表面への堆積2016

    • 著者名/発表者名
      附田健太郎、笹原亮、富取正彦
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-18 – 2016-03-22
  • [学会発表] 電気伝導と力学特性の同時測定による金ナノ接点の原子配列の考察2016

    • 著者名/発表者名
      橋本遼太、新井豊子、村上拓、石塚彗介、大島義文、富取正彦
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-18 – 2016-03-22
  • [学会発表] 疑似体液に浸漬させた酸化チタン単結晶表面のナノスケール解析2016

    • 著者名/発表者名
      笹原亮、村上達也、Le Tran Uyen Tu、附田健太郎、富取正彦
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学 大岡山キャンパス、東京都目黒区
    • 年月日
      2016-03-18 – 2016-03-22
  • [学会発表] 加熱/煮沸処理を施した酸化チタン表面のリン酸カルシウムの析出2016

    • 著者名/発表者名
      笹原亮、村上達也、Le Tran Uyen Tu、附田健太郎、富取正彦
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2016年年会
    • 発表場所
      早稲田大学、西早稲田大学キャンパス、東京都新宿区
    • 年月日
      2016-03-14 – 2016-03-16
  • [学会発表] 雰囲気制御電気炉でのSiO2超薄膜のルチルTiO2(110)基板上への堆積2015

    • 著者名/発表者名
      附田健太郎、笹原亮、富取正彦
    • 学会等名
      応用物理学会 北陸・信越支部学術講演会
    • 発表場所
      信州大学工学部 長野県長野市
    • 年月日
      2015-12-12 – 2015-12-12
  • [学会発表] 二酸化チタン表面へのリン酸カルシウム析出のXPSとAFMによる解析2015

    • 著者名/発表者名
      笹原亮、村上達也、Le Tran Uyen Tu, 附田健太郎、富取正彦
    • 学会等名
      第35回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場、茨城県つくば市
    • 年月日
      2015-12-01 – 2015-12-03
  • [学会発表] 金ナノ接点の電気電導と力学特性の同時測定2015

    • 著者名/発表者名
      橋本遼太、新井豊子、大島義文、富取正彦
    • 学会等名
      第35回表面科学学術講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場、茨城県つくば市
    • 年月日
      2015-12-01 – 2015-12-03
  • [学会発表] 超高真空槽で調製したSi(001)と(111)面の水滴下後の表面変化2015

    • 著者名/発表者名
      宮城友昭、笹原亮、富取正彦
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 長辺振動水晶振動子を力学センサーに応用した金ナノ接点の力学・電気伝導特性の同時計測2015

    • 著者名/発表者名
      橋本遼太、新井豊子、大島義文、富取正彦
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 加熱・加圧処理によるシリコン表面の突起構造の形成2015

    • 著者名/発表者名
      西村高志、富取正彦
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、愛知県名古屋市
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Tip-sample distance dependence of the output of a charge amplifier in NC-AFM2015

    • 著者名/発表者名
      M. Nogami, T. Arai, A. Sasahara, M. Tomitori
    • 学会等名
      the 18th International Conference on non-contact atomic force microscopy
    • 発表場所
      Cassis, France
    • 年月日
      2015-09-07 – 2015-09-11
    • 国際学会
  • [学会発表] Dissipation decrease in a proximity region enhanced with a hydrogen-terminated Si tip in non-contact atomic force microscopy2015

    • 著者名/発表者名
      R. Inamura, M. Tomitori, T. Arai
    • 学会等名
      the 18th International Conference on non-contact atomic force microscopy
    • 発表場所
      Cassis, France
    • 年月日
      2015-09-07 – 2015-09-11
    • 国際学会
  • [学会発表] Simultaneous NC-AFM imaging with current and damping energy using a retuned fork sensor with a high Q-value2015

    • 著者名/発表者名
      H. Ooe, M. Fujii, M. Tomitori, T. Arai
    • 学会等名
      the 18th International Conference on non-contact atomic force microscopy
    • 発表場所
      Cassis, France
    • 年月日
      2015-09-07 – 2015-09-11
    • 国際学会
  • [学会発表] Laying-down configuration of 4,4" diamond-p-terphenyl on Si(001)-2×1 observed by scanning tunneling microscopy2015

    • 著者名/発表者名
      Amer Mahmoud Amer Hassan, Akira Sasahara, Hideyuki Murata, Masahiko Tomitori
    • 学会等名
      EM-NANO 2015
    • 発表場所
      TOKI MESSE Niigata Convention Center, Niigata, Niigata, Japan
    • 年月日
      2015-06-16 – 2015-06-19
    • 国際学会
  • [学会発表] Chemical conformation of diamond-p-terphenyl on Si(001)-2×1 observed by STM2015

    • 著者名/発表者名
      Amer Mahmoud Amer Hassan, Akira Sasahara, Hideyuki Murata, Masahiko Tomitori
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回学術講演会
    • 発表場所
      国立京都国際会議場、京都府京都市
    • 年月日
      2015-05-13 – 2015-05-15

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公開日: 2017-01-06  

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