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2015 年度 研究成果報告書

走査型プローブ顕微鏡技術を利用したナノ接合界面の形成と解析

研究課題

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研究課題/領域番号 24246014
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関北陸先端科学技術大学院大学

研究代表者

富取 正彦  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (10188790)

研究分担者 高村 禅  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (20290877)
笹原 亮  北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 助教 (40321905)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワード表面・界面物性 / 走査プローブ顕微鏡 / ナノコンタクト / 物性実験
研究成果の概要

本研究では、独自の走査型プローブ顕微鏡(SPM)技術(SEM―SPM、電圧印加非接触原子間力顕微鏡(nc-AFM)など)を発展させた。SEM-SPMを活用して、WO3粉担持の加熱した小型WフィラメントにW針を接近させてWOx突起を成長させる探針調製法、水晶振動子を基にした再調律2本プロング高感度力センサーの開発、極接近した探針と試料間の相互作用によるエネルギー損失の高感度測定を実施し、また、nc-AFMにチャージアンプを組み込み、探針-試料間の静電容量、接触電位差、電荷移動を原子レベルで観察・計測した。適用試料をπ共役系分子、酸化物超薄膜などへ広げ、原子レベルの表面・界面の科学技術に寄与した。

自由記述の分野

表面科学、ナノプローブテクノロジー

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公開日: 2017-05-10  

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