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2015 年度 実績報告書

GaN/Siハイブリッドフォトニクスの光回路プラットフォームの研究

研究課題

研究課題/領域番号 24246019
研究機関東北大学

研究代表者

羽根 一博  東北大学, 工学研究科, 教授 (50164893)

研究分担者 金森 義明  東北大学, 工学研究科, 准教授 (10333858)
佐々木 敬  東北大学, 工学研究科, 助教 (60633394)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワードウエハ接合 / 光エレクトロニクス / MEMS
研究実績の概要

本年度は,SiフォトニクスとGaNフォトニクスを融合した光回路システムおよび電子回路システムのプラットホーム技術をマイクロマシニング技術により開発することを目的に,GaNリング導波路とシリコン導波路の結合特性およびフィルタ特性について光導波路およびフィルタ特性を詳細に評価し,光電効果による変調方式を設計した.
Si基板上に結晶成長したGaN薄膜のウエハを接合する技術において,高度に位置合わせできるように改良した.さらに,GaN導波路に電界を印加するための電極の設計を行った.電極として基板SOIウエハのSi導波路と同じSi層を一部残して,電極とする構造で,設計と試作を行った.また,電界効果のシミュレーションを行い,電界誘起屈折率変化(ポッケル効果)の程度を見積もった.
SOIの張り合わせ用基板ウエハにおいて,Si細線導波路と電界印加用Si電極を形成した.そのウエハとGaN/Si基板のウエハをスピンオングラスにより張り合わせた.断面形状を確認し,張り合わせたウエハの隙間に空隙がないことを確認した.下層のSi導波路に光を伝搬させ,上層のGaNマイクロリングへの結合を実現した.加えて,SOI基板のSi電界に電圧を印加し,漏れ電流等がないことを確認した.加えて,印加電圧の周波数依存性を明らかにした.GaNマイクロリングの共振特性を詳細に調べた.内部共振Q値として,約64000が得られた.
また,製作したGaN/Siマイクロリングに,GaNリングが吸収できる波長(325nm)のレーザ光を照射し,GaN導波路中の電子の励起と緩和(熱過程)により,外部光による導波路光の変調を試みた.リングの透過帯域が光照射により変調される効果により,リング透過光の変調が周波数10kHzまで行えることを示した.これにより,全光方式の光変調法を実現できることを示した.

現在までの達成度 (段落)

27年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (7件)

すべて 2015

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Group velocity enhancement for guided lightwave by the band-pulling effect in single-mode silicon comb photonic crystal wires2015

    • 著者名/発表者名
      Borriboon Thubthimthong and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Journal of Optics

      巻: 17 ページ: 055104(9pp)

    • DOI

      10.1088/2040-8978/17/5/055104

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Asymmetrically and Vertically Coupled Hybrid Si/GaN Microring Resonators for On-Chip Optical Interconnects2015

    • 著者名/発表者名
      B. Thubthimthong, T. Sasaki, and K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Journal

      巻: 7 ページ: 7801511(12pp)

    • DOI

      10.1109/JPHOT.2015.2464721

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Design, fabrication and optical characteristics of freestanding GaN waveguides on silicon substrate2015

    • 著者名/発表者名
      Takuji Sekiya, Takashi Sasaki, and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 33 ページ: 031207(8pp)

    • DOI

      10.1116/1.4917487

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] AIN Nanowall Structures Grown on Si(111) Substrate by Molecular Beam Epitaxy2015

    • 著者名/発表者名
      Yosuke Tamura and Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 10 ページ: 460(5pp)

    • DOI

      10.1186/s11671-015-1178-7

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and Evaluation of Single-Crystal-Silicon Tunable Grating using Polymer-Based Membrane Transfer Bonding Process2015

    • 著者名/発表者名
      Sawasdivorn Chernroj, Hisayuki Onuma, Tomohiro Suzuki, Takashi Sasaki, Hiroshi Mastuura, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 135 ページ: 361-366

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.135.361

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Fabrication and evaluation of tunable submicron-thick monocrystalline silicon grating for integration on LSI circuit2015

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki
    • 学会等名
      International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics
    • 発表場所
      Jerusalem, Israel
    • 年月日
      2015-08-03 – 2015-08-06
    • 国際学会
  • [学会発表] GaN freestanding waveguides on Si substrate for Si/GaN hybrid photonic integration2015

    • 著者名/発表者名
      T. Sasaki
    • 学会等名
      Transducers
    • 発表場所
      Anchorage, USA
    • 年月日
      2015-06-22 – 2015-06-25
    • 国際学会

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公開日: 2018-01-16  

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