| 研究課題/領域番号 |
24246019
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用光学・量子光工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
羽根 一博 東北大学, 工学研究科, 教授 (50164893)
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| 研究分担者 |
金森 義明 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (10333858)
佐々木 敬 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (60633394)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2016-03-31
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| キーワード | シリコンフォトニクス / ＧａＮ導波路 / ウエハ接合 / ＭＥＭＳ / 光集積回路 / 電気光学効果 / マイクロリング |
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| 研究成果の概要 |
SiフォトニクスとGaNフォトニクスを融合した光回路のプラットフォームをマイクロマシニング技術により開発することを目的とした．GaNの能動導波路とSiの受動導波路を結合した機能性の高い光回路を実現するため，基盤技術を開発した．具体的には，GaN結晶を成長したSiウエハとSi-on-insulatorウエハを張り合わせ，GaNのマイクロリング導波路とSi直線導波路を結合した光回路を製作し，GaNの電気光学効果などによる光変調を実証した．GaN/Siハイブリッド光電子集積技術の一つの基礎を確立できた．
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| 自由記述の分野 |
微小電気機械システム
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