| 研究課題/領域番号 |
24246030
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
横田 眞一 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (10092579)
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| 研究分担者 |
吉田 和弘 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (00220632)
金 俊完 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (40401517)
嚴 祥仁 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (20551576)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| キーワード | マイクロ液圧源 / 電界共役流体 / MEMS / マイクロポンプ |
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| 研究成果の概要 |
安価で大量生産が可能であると同時に，世界一の高出力パワー密度を有するマイクロ液圧源を実現するために，直流電圧の印加により電極間に活発な流れが発生する電界共役流体(ECF)の駆動原理とマイクロマシン(MEMS)の加工技術を融合した新たなマイクロ液圧源を開発した．高出力パワー密度のマイクロ液圧源の特性評価を行ない，電子チップの冷却，小形なソフトアクチュエータなどの具体的な応用例に適用することによって，その有効性を確認した．
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| 自由記述の分野 |
工学
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