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2014 年度 実績報告書

強誘電体を用いた巨大分極接合界面のサイエンスとそのパワーエレクトロニクス応用

研究課題

研究課題/領域番号 24246049
研究機関大阪府立大学

研究代表者

藤村 紀文  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50199361)

研究分担者 吉村 武  大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (30405344)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
キーワードパワーデバイス / 強誘電体 / Ga203 / 大気圧プラズマ
研究実績の概要

強誘電体薄膜をゲート絶縁膜として用いた強誘電体ゲート型パワーMOSFET を試作し、その物性評価、デバイス評価などの実験結果と、強誘電体/極性半導体ヘテロ構造における応力場・分極場の相互作用の理論的解析とをリンクさせることによって、強誘電体ゲート型パワーMOSFET の設計指針と駆動原理を検討し、「巨大分極エレクトロニクス」と言うべき新分野の理論体系を構築することを目標とした。
1)パワーMOSFET素子を駆動するためのパワーデバイス用強誘電体としてBiFeO3を開発した。正方晶歪の大きさを0-4%の間で制御することが可能になり、正方晶とみなせるBiFeO3薄膜を得ることができ、d33圧電定数が60pm/Vから90pm/Vへと向上するなど本物質が有する巨大な分極をデバイス中で取り出すための準備が整った。
2)新規に開発した大気圧プラズマによってGa2O3やZnOパワー半導体を作成することに成功した。それらの薄膜が低ドナー濃度であり非常に欠陥が少ないことが示唆される結果を得た。また、MOS界面におけるトラップ準位などの低減に新しい道を拓いた。
3)反転可能な自発分極を有する強誘電体と反転できない自発分極を有する半導体の接合界面を作製し、自発分極が半導体のキャリア輸送特性に及ぼす影響を精査した。半導体層のみの時の移動度に比べて、強誘電体層を積層した後の蓄積状態における移動度が増加することを見出した。キャリア散乱機構の解析の結果から、強誘電体の自発分極による強い閉じ込め効果に起因していることが示唆された。またノンドープのワイドバンドギャップ半導体(ZnO)上で、強誘電体の自発分極の反転に伴ったキャリア変調が生じることを確認した。これらの知見から、応力場・ひずみ場・電位分布・分極分布・キャリア分布の解析という、非常に複雑ではあるが極めて重要な問題への理論展開が大きく進んだ。

現在までの達成度 (段落)

27年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (136件)

すべて 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 9件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (125件) (うち国際学会 24件、 招待講演 14件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Evaluation of the electronic states in highly Ce doped Si films grown by low temperature molecular beam epitaxy system2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, Y. Nose, T. Yoshimura, A. Ashida, and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Journal of Cristal Growth

      巻: 425 ページ: 158-161

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2015.03.013

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of polarization of polar semiconductor on electrical properties of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene)/ZnO heterostructures2015

    • 著者名/発表者名
      H. Yamada, T. Yoshimura and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 117 ページ: 234101 1-5

    • DOI

      10.1063/1.4922668

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effect of excess Pb on ferroelectric characteristics of conductive Al-dopect ZnO and Sn-doped In2O3 top electrodes in PbLaZrTiOx capacitors2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Takada, T. Tsuji, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo, T. Yoshimura, N. Fujimura, K. Higuchi, A. Kitajima, and A. Oshima
    • 雑誌名

      International Journal of Materials Research

      巻: 106 ページ: 83-87

    • DOI

      10.3139/146.111154

  • [雑誌論文] Effect of Al-doped ZnO or Sn-doped In2O3 electrode on ferroelectric properties of (Pb,La)(Zr,Ti)O3 capacitors2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Takada, T. Tsuji, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo, T. Yoshimura, N. Fujimura, K. Higuchi, A. Kitajima and H. Iwai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 ページ: 05ED03 1-6

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.05ED03

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Theoretical analysis of linear and nonlinear piezoelectric vibrational energy harvesters for human walking2015

    • 著者名/発表者名
      Ali M. Eltanany, T. Yoshimura, N. Fujimura, Nour Z. Elsayed, Mohamed R. Ebied and Mohamed G. S. Ali
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 ページ: 10ND02 1-5

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.10ND02

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth and characterization of (1-x)BifeO3-x(Bi0.5,K0.5)TiO3 thin films2015

    • 著者名/発表者名
      Jin Hong Choi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 54 ページ: 10NA14 1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.54.10NA14

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved reliability properties of (Pb,La) (Zr,Ti)O3 ferroelectric capacitors by thin aluminium-doped zinc oxide buffer layer2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Takada, T. Tsuji, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo, T. Yoshimura, N. Fujimura, K. Higuchi, and A. Kitajima
    • 雑誌名

      Electronics Letters

      巻: 50 ページ: 799-801

    • DOI

      10.1049%2Fel.2014.0187

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Piezoelectric properties of (100) orientated BiFeO3 thin films on LaNiO32014

    • 著者名/発表者名
      K. Kariya, T. Yoshimura, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 08NB02 1-5

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.08NB02

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Output power of piezpelectric MEMS vibration energy harvesters under random oscillations2014

    • 著者名/発表者名
      K. Kariya, T. Yoshimura, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 557 ページ: 012101 1-5

    • DOI

      10.1088/1742-6596/557/1/012101

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of piezoelectric properties of (100)-orientated BiFeO3 films on (100)LaNiO3/Si2014

    • 著者名/発表者名
      K. Kariya, T. Yoshimura, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 09PA14 1-4

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.09PA14

    • 査読あり
  • [学会発表] 強相関系マルチフェロイック強誘電体薄膜の新展開2016

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文
    • 学会等名
      新無機膜研究会 第 78 回研究会
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学(京都府)
    • 年月日
      2016-03-31
    • 招待講演
  • [学会発表] The Wide Effective Temperature Range of the Electrocaloric Effect in Field-induced Phase Transition2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsushita, T. Yoshimura and N. Fujimura
    • 学会等名
      第7回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      プラザヴェルデ(静岡県)
    • 年月日
      2016-03-28
  • [学会発表] Carrier control in Ce doped Si thin films using organic ferroelectric-gate field effect transistors2016

    • 著者名/発表者名
      H. Nonami, Y. Miyata, T. Yoshimura and N. Fujimura
    • 学会等名
      第7回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      プラザヴェルデ(静岡県)
    • 年月日
      2016-03-28
  • [学会発表] Development of novel conductive oxide film by dual magnetron sputtering2016

    • 著者名/発表者名
      H. Yamashita, T. Yoshimura, A.Ashida and N. Fujimura
    • 学会等名
      第7回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      プラザヴェルデ(静岡県)
    • 年月日
      2016-03-28
  • [学会発表] 常圧非平衡プラズマを用いた新規な酸化物薄膜の化学気相成長プロセス2016

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文,野瀬 幸則,木口 拓也,上原 剛,吉村 武,芦田 淳
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
    • 招待講演
  • [学会発表] 常圧非平衡プラズマを用いて作製した高抵抗ZnO薄膜の電子状態2016

    • 著者名/発表者名
      野瀬 幸則,木口 拓也,岩崎 裕徳, 吉村 武,芦田 淳,上原 剛,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] Electronic states of Ce and magneto-transport characteristics in Ce doped Si films2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, K. Ueno, T. Yoshimura, A. Ashida and N.Fujimura
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] 正圧電応答における強誘電ドメインの寄与の解析2016

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人,荒牧 正明,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] Growth and electrical properties of BiFeO3-(Bi1/2Na1/2)TiO3 thin films2016

    • 著者名/発表者名
      Jin Hong Choi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] 振動発電応用に向けたBiFeO3厚膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      荒牧 正明,苅谷 健人,吉村 武,村上 修一、藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] 電子強誘電体YbFe2O4薄膜の電子状態とその光吸収特性への影響2016

    • 著者名/発表者名
      樫本 涼, 吉村 武, 芦田 淳, 藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] Ba1-xCaxTiO3/ZnOヘテロ接合の作製とバンド配置の決定2016

    • 著者名/発表者名
      後田 敦史,山田 裕明,小前 智也,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] 靴における圧電発電の検討2016

    • 著者名/発表者名
      柿原 凌汰,苅谷 健人,松下 裕司,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] β-Ga2O3単結晶基板上への(Hf,Zr)O2薄膜の成長2016

    • 著者名/発表者名
      高田 賢志,小前 智也, 木口 拓也,野瀬 幸則, 吉村 武,芦田 淳,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] (111)SrTiO3基板上への(Ba,La)SnO3薄膜の作製と特性評価2016

    • 著者名/発表者名
      三浦 光平,山下 紘誉,小前 智也,吉村 武,芦田 淳,藤村 紀文
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都)
    • 年月日
      2016-03-19 – 2016-03-22
  • [学会発表] Development of efficient piezoelectric energy harvester for human2016

    • 著者名/発表者名
      Ali Mohamed, T. Yoshimura, N. Fujimura
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] Growth and electrical characterization of BiFeO3 based piezoelectric films2016

    • 著者名/発表者名
      Choi Jin Hong, Takeshi Yoshimura, Norifumi Fujimura
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 強誘電体薄膜の圧電特性におけるドメイン壁の寄与2016

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人, 吉村 武, 藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 圧電MEMS振動発電素子の高出力化に向けた検討2016

    • 著者名/発表者名
      荒牧 正明,苅谷 健人,村上 修一,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 低消費電力不揮発性メモリに向けた強誘電体/極性半導体ヘテロ接合の作製2016

    • 著者名/発表者名
      後田 敦史,山田 裕明,小前 智也,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 強誘電体における電気熱量効果の直接測定2016

    • 著者名/発表者名
      松下 裕司,後田 敦史,小前 智也,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 圧電効果を用いた靴発電の検討2016

    • 著者名/発表者名
      柿原 凌汰,苅谷 健人,吉村 武,芦田 淳,藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 強誘電体薄膜の格子整合成長に向けた新規下部電極の作製2016

    • 著者名/発表者名
      山下 紘譽,荒牧 正明,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成27年度第3回講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2016-02-05
  • [学会発表] 正圧電応答を利用した新しい強誘電性ドメインの評価手法の提案2016

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第4回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回講演会・見学会
    • 発表場所
      福井大学(福井県)
    • 年月日
      2016-01-30
  • [学会発表] Epitaxial growth and electrical property of (111)Ba1-XCaXTiO3 on (0001)ZnO2015

    • 著者名/発表者名
      A. Nochida, H. Yamada, T. Komae, T. Yoshimura, A. Ashida and N. Fujimura
    • 学会等名
      第25回 日本MRS年次大会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2015-12-08 – 2015-12-10
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS Vibrational Energy Harvester Using BiFeO3 Films2015

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kariya, and N. Fujimura
    • 学会等名
      The 32nd International Japan-Korea Seminar on Ceramic
    • 発表場所
      長岡技術科学大学(新潟県)
    • 年月日
      2015-11-18 – 2015-11-20
    • 国際学会
  • [学会発表] Direct measurement of the electrocaloric effect in ferroelectrics using thin film thermocouple2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Matsushita, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      The 32nd International Japan-Korea Seminar on Ceramic
    • 発表場所
      長岡技術科学大学(新潟県)
    • 年月日
      2015-11-18 – 2015-11-20
  • [学会発表] Enhancement of Piezoelectric Properties of BiFeO3 Films for Vibration Energy Harvesting2015

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, K. Kariya, N. Fujimura, and S. Murakami
    • 学会等名
      The Seventeenth US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    • 発表場所
      ホテルブエナビスタ(長野県)
    • 年月日
      2015-11-15 – 2015-11-18
  • [学会発表] Origin of photo-induced current for strongly correlated ferroelectric YMnO3 films2015

    • 著者名/発表者名
      L. Zhang, H. Uga, A. Ashida, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      STAC-9&TOEO-9
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県)
    • 年月日
      2015-10-19 – 2015-10-21
    • 国際学会
  • [学会発表] Electronic Structure and Energy Band Alignments at Interfaces between Stannate (CaSnO3, (Ba,La)SnO3) and SrTiO3 Epitaxial Thin Films Revealed by in-situ Photoelectron Spectroscopy2015

    • 著者名/発表者名
      J. D. Baniecki, T. Yamazaki, D. Ricinschi, Q. Van Overmeere, H. Aso, Y. Miyata, H. Yamada, N. Fujimura, and Y. Imanaka
    • 学会等名
      STAC-9&TOEO-9
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県)
    • 年月日
      2015-10-19 – 2015-10-21
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Anomalous Magnetoresistance in Rare Earth, Ce, Doped Single Crystalline Si Epitaxial Films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, K. Ueno, T. Yoshimura, A. Ashida, Y. Togawa, and N. Fujimura
    • 学会等名
      31st North American Molecular Beam Epitaxy Conference
    • 発表場所
      Mayan Rivera (Mexico)
    • 年月日
      2015-10-04 – 2015-10-07
    • 国際学会
  • [学会発表] Chemical Vapor Deposition of Highly Resistive ZnO Films using Nonequilibrium N2/O2 Plasma Generated near Atmospheric Pressure2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Nose, T. Kiguchi, T. Yoshimura, A. Ashida, T. Uehara and N. Fujimura
    • 学会等名
      Solid State Devices and Materials 2015
    • 発表場所
      札幌国際会議場(北海道)
    • 年月日
      2015-09-27 – 2015-09-30
    • 国際学会
  • [学会発表] Si-based nonvolatile field effect transistor using low temperature process2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, A. Ashida, T. Yoshimura and N. Fujimura
    • 学会等名
      Solid State Devices and Materials 2015
    • 発表場所
      札幌国際会議場(北海道)
    • 年月日
      2015-09-27 – 2015-09-30
    • 国際学会
  • [学会発表] 微量O2添加常圧N2プラズマの励起過程と高抵抗ZnO薄膜の作製2015

    • 著者名/発表者名
      野瀬 幸則,木口 拓也,髙田 賢志, 吉村 武,芦田 淳,上原 剛,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Control of hole density in acceptor co-doped Si:Ce films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, K. Ueno, T. Yoshimura, A. Ashida and N. Fuijmura
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Electrical properties of 100-oriented (1-x)BiFeO3-x(Bi0.5,K0.5)TiO3 thin films on LaNiO3 electrode2015

    • 著者名/発表者名
      Jin Hong Choi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 正圧電効果による強誘電ドメインの観察2015

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 圧電MEMS振動発電素子の高出力化の検討2015

    • 著者名/発表者名
      荒牧 正明,苅谷 健人,吉村 武,村上 修一,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 大気圧非平衡プラズマを用いたZnO薄膜へのNドーピング2015

    • 著者名/発表者名
      岩崎 裕徳,野瀬 幸則,吉村 武,芦田 淳,上原 剛,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD法を用いたβ-Ga2O3薄膜の低温成長2015

    • 著者名/発表者名
      木口 拓也,野瀬 幸則,髙田 賢志,上原 剛,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] β-Ga2O3単結晶基板上でのBiFeOえ強誘電体薄膜の成長2015

    • 著者名/発表者名
      小前 智也,高田 賢志,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] PLD法を用いたYbFe2O4薄膜成長時の組成変動に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      樫本 涼,吉村 武,芦田 淳,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 強誘電体薄膜における電気熱量効果の直接測定の検討Ⅱ2015

    • 著者名/発表者名
      松下 裕司,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] 強相関系強誘電体YMnO3薄膜の光誘起電流の起源2015

    • 著者名/発表者名
      張 楽駿,宇賀 洋志,芦田 淳,吉村 武,藤村 紀文
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県)
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
  • [学会発表] Contribution of excited species in N2 / O2 atmospheric pressure plasma to the chemical vapor deposition of ZnO films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Nose, T. Kiguchi, T. Yoshimura, A. Ashida, T. Uehara, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第34回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県)
    • 年月日
      2015-07-15
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS Vibrational Energy Harvesters Using BiFeO3 Films2015

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshimura, K. Kariya, N. Fujimura, and S. Murakami
    • 学会等名
      第34回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県)
    • 年月日
      2015-07-15
  • [学会発表] Novel rare earth doping using surface re-construction of Ce doped Si films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, K. Ueno, T. Yoshimura, A. Ashida and N. Fujimura
    • 学会等名
      第34回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県)
    • 年月日
      2015-07-15
  • [学会発表] Transport characteristics of B co-doped Si:Ce films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata, K. Ueno, T. Yoshimura, A. Ashida and N. Fujimura
    • 学会等名
      第34回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県)
    • 年月日
      2015-07-15
  • [学会発表] Switchable Photo-induced Current of Strongly Correlated Ferroelectric Thin Films2015

    • 著者名/発表者名
      N. Fujimura, H. Uga, L. Zhang, A. Ashida, and T. Yoshimura
    • 学会等名
      EMN Cancun Meeting
    • 発表場所
      The Westin Resort & Spa (Mexco)
    • 年月日
      2015-06-07 – 2015-06-12
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Simulation of Vibration Mode of Muti-Beam Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters2015

    • 著者名/発表者名
      S. Murakami, T. Yoshimura, K. Kariya, T. Nakajima, T. Nagataki, T. Nakade, K. Satoh, and N. Fujimura
    • 学会等名
      2015 Joint IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric (ISAF), International Symposium on Integrated Functionalities (ISIF), and Piezoresponse Force Microscopy Workshop (PFM)
    • 発表場所
      Matrix (Singapore)
    • 年月日
      2015-05-23 – 2015-05-28
  • [学会発表] Growth and Characterization of BiFeO3-(Bi0.5K0.5)TiO3 Thin Films2015

    • 著者名/発表者名
      JinHong Choi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第32回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都)
    • 年月日
      2015-05-20 – 2015-05-23
  • [学会発表] Numerical Analysis of Nonlinear Piezoelectric Vibrational Energy Harvesters2015

    • 著者名/発表者名
      Ali M. Eltanany, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第32回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都)
    • 年月日
      2015-05-20 – 2015-05-23
  • [学会発表] Origin of the switchable photo-induced current in strongly correlated ferroelectrics, YMnO3 epitaxial films2015

    • 著者名/発表者名
      N. Fujimura, H. Uga, A. Ashida, and T.Yoshimura
    • 学会等名
      E-MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais (France)
    • 年月日
      2015-05-10 – 2015-05-15
    • 招待講演
  • [学会発表] Application of BiFeO3 films for MEMS vibration energy harvesters2015

    • 著者名/発表者名
      K. Kariya, T. Yoshimura, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 学会等名
      E-MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      Lille Grand Palais (France)
    • 年月日
      2015-05-10 – 2015-05-15
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of lead-free (1-x)BiFeO3-x(Bi0.5,K0.5)TiO3 Thin films2015

    • 著者名/発表者名
      J. H. Choi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第6回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      I-siteなんば(大阪府)
    • 年月日
      2015-03-30
  • [学会発表] Orientation control of the electrochemically grown Cu2O thin films2015

    • 著者名/発表者名
      X. Zhao, A. Ashida, F. Imanishi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第6回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      I-siteなんば(大阪府)
    • 年月日
      2015-03-30
  • [学会発表] Fabrication of ultrathin ferroelectric / semiconductor heterostructure and analysis of its electrical conduction properties2015

    • 著者名/発表者名
      A. Nochida, H. Yamada, T. Komae, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第6回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      I-siteなんば(大阪府)
    • 年月日
      2015-03-30
  • [学会発表] Carrier transport properties of electronic ferroelectric YbFe2O4 epitaxial films2015

    • 著者名/発表者名
      R. Kashimoto, T. Yoshimura, A. Ashida, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第6回U3-マテリアルデザインフォーラム
    • 発表場所
      I-siteなんば(大阪府)
    • 年月日
      2015-03-30
  • [学会発表] 圧電MEMS振動発電素子の振動モード解析2015

    • 著者名/発表者名
      村上 修一、苅谷 健人、吉村 武、中嶋 隆勝、長瀧 敬行、中出 卓男、佐藤 和郎、藤村 紀文
    • 学会等名
      平成27年 電気学会全国大会
    • 発表場所
      東京都市大学(東京都)
    • 年月日
      2015-03-23 – 2015-03-26
  • [学会発表] PLD法を用いた強誘電体薄膜の強誘電性及びピエゾ特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      天野 泰河、高田 瑶子、岡本 尚樹、齊藤 丈靖、近藤 和夫、吉村 武、藤村 紀文、樋口 宏二、北島 彰
    • 学会等名
      化学工学会 第80回年会
    • 発表場所
      芝浦工業大学(東京都)
    • 年月日
      2015-03-19 – 2015-03-21
  • [学会発表] センシング応用に向けた非鉛強誘電体薄膜の開発2015

    • 著者名/発表者名
      吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      交通・電気鉄道/フィジカルセンサ研究会
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学(愛知県)
    • 年月日
      2015-03-18
  • [学会発表] エネルギー変換応用を指向した非鉛強誘電体薄膜の開発2015

    • 著者名/発表者名
      吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 招待講演
  • [学会発表] (111) Ba1-xCaxTiO3/ZnOヘテロ構造の作製とその電気的特性2015

    • 著者名/発表者名
      山田 裕明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] B共添加がSi:Ce薄膜の表面形態・輸送特性に及ぼす影響2015

    • 著者名/発表者名
      宮田 祐輔、植野 和也、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] Theoretical Analysis of Nonlinear Response in Vibrational Energy Harvesters2015

    • 著者名/発表者名
      Ali M. Eltanany, T. Yoshimura, N. Fujimura, N. Z. Elsayed, M. R. Ebeid, and M. G. S. Ali
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 複数梁構造を有する圧電MEMS振動発電素子の振動解析2015

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人、吉村 武、村上 修一、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 強相関系強誘電体YMnO3薄膜の光吸収および発光特性とそれらの光誘起電流との相関2015

    • 著者名/発表者名
      宇賀 洋志、芦田 淳、吉村 武、古川 喜彬、中山 正昭、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] BiFeO3薄膜に用いる新規下部電極の検討2015

    • 著者名/発表者名
      荒牧 正明、苅谷 健人、堂安 豪、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] MnドーピングがZnOホモエピタキシャル薄膜成長過程に与える影響2015

    • 著者名/発表者名
      岩崎 裕徳、野瀬 幸則、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 大気圧プラズマCVD法を用いた(-201)β-Ga2O3薄膜のホモエピタキシャル成長2015

    • 著者名/発表者名
      木口 拓也、野瀬 幸則、上原 剛、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] ZnO単結晶基板上でのBiFeO3薄膜の成長2015

    • 著者名/発表者名
      小前 智也、山田 裕明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] Ce添加によるSi上Ge三次元ドット成長プロセスの変化2015

    • 著者名/発表者名
      植野 和也、宮田 祐輔、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタ法による (100)BiFeO3/(100)LaNiO3ヘテロ構造の作製2015

    • 著者名/発表者名
      堂安 豪、苅谷 健人、荒牧 正明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 電子強誘電体YbFe2O4エピタキシャル薄膜のキャリア伝導特性2015

    • 著者名/発表者名
      樫本 涼、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 強誘電体薄膜における電気熱量効果の直接測定の検討2015

    • 著者名/発表者名
      松下 裕司、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] 強相関系強誘電体YMnO3薄膜の光誘起電流と分極反転の相関2015

    • 著者名/発表者名
      宇賀 洋志、張 楽駿、芦田 淳、古川 喜彬、中山 正昭、藤村 紀文
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
  • [学会発表] Growth process of ZnO films in N2/O2 plasma generated near atmospheric pressure2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Nose and N. Fujimura
    • 学会等名
      応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第1回ポスター発表展 「若手のポスター発表展-ベテランとの議論に打ち勝て!-」
    • 発表場所
      プロミティあつぎビル(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-10
  • [学会発表] Si-based non-volatile FET using Organic Ferroelectrics2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata and N. Fujimura
    • 学会等名
      応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会 第1回ポスター発表展 「若手のポスター発表展-ベテランとの議論に打ち勝て!-」
    • 発表場所
      プロミティあつぎビル(神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-10
  • [学会発表] 強相関系強誘電体YMnO3薄膜の光吸収・発光特性と光誘起電流との相関2015

    • 著者名/発表者名
      宇賀 洋志、芦田 淳、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第4回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回講演会・見学会
    • 発表場所
      広島大学(広島県)
    • 年月日
      2015-01-24
  • [学会発表] Switchable Photo-Induced Phenomena of Strongly-correlated Ferroelectric Epitaxial Films2014

    • 著者名/発表者名
      N. Fujimura, H. Uga, T. Yoshimura, and A. Ashida
    • 学会等名
      Joint Symposium of MRS-J and E-MRS
    • 発表場所
      横浜情報文化センター、横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of crystal structure of Ga2O3 films grown by atmospheric pressure plasma enhanced CVD(APE-CVD) system2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Nose, T. Kiguchi, T. Uehara, and N. Fujimura
    • 学会等名
      Joint Symposium of MRS-J and E-MRS
    • 発表場所
      横浜情報文化センター、横浜市開港記念会館 (神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of spontaneous and piezoelectric polarization on the electric property of Zn1-xMnxO/ZnO hetero-interface2014

    • 著者名/発表者名
      H. Iwasaki, Y. Nose, T. Nakamura, Y. Togawa, T. Yoshimura, A. Ashida, and N. Fujimura
    • 学会等名
      Joint Symposium of MRS-J and E-MRS
    • 発表場所
      横浜情報文化センター、横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 国際学会
  • [学会発表] Orientation control of the electrochemically grown Cu2O films2014

    • 著者名/発表者名
      X. Zhao, A. Ashida, F. Imanishi, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      Joint Symposium of MRS-J and E-MRS
    • 発表場所
      横浜情報文化センター、横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of the Ti layer on the contact resistance of β-Ga2O3 single crystal substrate2014

    • 著者名/発表者名
      G. Z. Yu, Y. Nose, T. Kiguchi, and N. Fujimura
    • 学会等名
      Joint Symposium of MRS-J and E-MRS
    • 発表場所
      横浜情報文化センター、横浜市開港記念会館(神奈川県)
    • 年月日
      2014-12-10 – 2014-12-12
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS技術を用いた圧電式振動発電素子の開発2014

    • 著者名/発表者名
      吉村 武
    • 学会等名
      大阪府立大学+大阪市立大学ニューテクフェア2014
    • 発表場所
      大阪産業創造館(大阪府)
    • 年月日
      2014-12-09
    • 招待講演
  • [学会発表] Correlation between the Intra-atomic Mn3+ Photoluminescence and the photo-induced current in YMnO3 Epitaxial Films2014

    • 著者名/発表者名
      N. Fujimura, H. Uga, T. Yoshimura, A. Ashida, Y. Furukawa, and M. Nakayama
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston Hynes Convention Center (USA)
    • 年月日
      2014-12-01 – 2014-12-04
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] The Effect of H2 Distribution in the PLZT Capacitors with Conductive Oxide Electrodes on the Degradation of Ferroelectric Properties2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Takada, T. Amano, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo, T. Yoshimura, N. Fujimura, K. Higuchi, and A. Kitajima
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston Hynes Convention Center (USA)
    • 年月日
      2014-12-01 – 2014-12-04
    • 国際学会
  • [学会発表] Fundamental Physics and the device application of strongly-correlated ferroelectrics2014

    • 著者名/発表者名
      N. Fujimura
    • 学会等名
      International Seminar on Functional Ferroelectric Films for Future Electronic Devices and Systems
    • 発表場所
      京都工芸繊維大学(京都府)
    • 年月日
      2014-11-19
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Electrical and Mechanical Properties of Piezoelectric MEMS Vibrational Energy harvesters using BiFeO3 films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, K. Kariya, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications
    • 発表場所
      淡路夢舞台国際会議場(兵庫県)
    • 年月日
      2014-11-18 – 2014-11-21
    • 国際学会
  • [学会発表] BiFeO3薄膜の圧電MEMS振動発電応用2014

    • 著者名/発表者名
      吉村 武、村上 修一、苅谷 健人、藤村 紀文
    • 学会等名
      第55回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      I-siteなんば(大阪府)
    • 年月日
      2014-11-18
  • [学会発表] 強誘電体トンネル接合素子における抵抗変化モデルの構築2014

    • 著者名/発表者名
      後田 敦史、山田 裕明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成26年度第2回講演会
    • 発表場所
      神戸大学(兵庫県)
    • 年月日
      2014-11-12
  • [学会発表] Development of Distributed Parameter Model for MEMS Piezoelectric Energy Harvesters2014

    • 著者名/発表者名
      A. M. Eltanany , T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部 平成26年度第2回講演会
    • 発表場所
      神戸大学(兵庫県)
    • 年月日
      2014-11-12
  • [学会発表] Structure Modification of Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters using BiFeO3 thin films2014

    • 著者名/発表者名
      K. Kariya, T. Yoshimura, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 学会等名
      4th international workshop on Piezoelectric MEMS
    • 発表場所
      神戸大学(兵庫県)
    • 年月日
      2014-10-27 – 2014-10-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical and Mechanical Properties of Piezoelectric MEMS Vibrational Energy harvesters using BiFeO3 films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, K. Kariya, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 学会等名
      4th international workshop on Piezoelectric MEMS
    • 発表場所
      神戸大学(兵庫県)
    • 年月日
      2014-10-27 – 2014-10-29
    • 国際学会
  • [学会発表] Comparative study of the ferroelectric properties employed with Al:ZnO and Sn:In2O3 electrode PbLaZrTiOx capacitors2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Takada, T. Amano, N. Okamoto, T. Saito, K. Kondo, T. Yoshimura, N. Fujimura, K. Higuchi, and A. Kitajima
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2014: 24th Asian Session IWAPS Joint Conference
    • 発表場所
      東京大学(東京都)
    • 年月日
      2014-10-22 – 2014-10-24
    • 国際学会
  • [学会発表] ZnO基板上でのペロブスカイト型強誘電体薄膜の結晶成長2014

    • 著者名/発表者名
      山田 裕明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 常圧N2/O2リモートプラズマを用いたZnO薄膜のCVD成長における不純物取り込みと伝導機構2014

    • 著者名/発表者名
      野瀬 幸則、木口 拓也、吉村 武、芦田 淳、上原 剛,藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 機強誘電体P(VDF-TrFE)を用いたCe添加Si薄膜の伝導制御2014

    • 著者名/発表者名
      宮田 祐輔、植野 和也、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] BiFeO3薄膜を用いた多自由度圧電 MEMS 振動発電素子の試作2014

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人、吉村 武、村上 修一、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 強相関系強誘電体YMnO3薄膜の光誘起電流とキャリア伝導2014

    • 著者名/発表者名
      宇賀 洋志、芦田 淳、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] BiFeO3エピタキシャル薄膜の結晶構造に及ぼす引張歪の影響2014

    • 著者名/発表者名
      小前 智也、荒牧 正明、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] ZnO/Zn1-xMnxO/ZnOヘテロ界面における二次元量子構造の形成と自発分極の影響2014

    • 著者名/発表者名
      岩崎 裕徳、中村 立、吉村 武、芦田 淳、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 大気圧プラズマ CVD 法を用いたβ-Ga2O3薄膜の成長 II2014

    • 著者名/発表者名
      木口 拓也、野瀬 幸則、上原 剛、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] BiFeO3薄膜の格子整合成長の検討2014

    • 著者名/発表者名
      荒牧 正明、苅谷 健人、堂安 豪、吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] 導電性酸化物電極を用いた強誘電体キャパシタの作製と劣化機構2014

    • 著者名/発表者名
      高田 瑶子、天野 泰河、岡本 尚樹、齊藤 丈靖、近藤 和夫、吉村 武、藤村 紀文、樋口 宏二、北島 彰
    • 学会等名
      化学工学会 第46回秋季大会
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-19
  • [学会発表] PLD法による強誘電体薄膜の配向性制御と電気特性2014

    • 著者名/発表者名
      天野 泰河、高田 瑶子、岡本 尚樹、齊藤 丈靖、近藤 和夫、吉村 武、藤村 紀文、樋口 宏二、北島 彰
    • 学会等名
      化学工学会 第46回秋季大会
    • 発表場所
      九州大学(福岡県)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-19
  • [学会発表] BiFeO3薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の機械的・電気的特性2014

    • 著者名/発表者名
      吉村 武、苅谷 健人、藤村 紀文、村上 修一
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第27回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      鹿児島大学(鹿児島県)
    • 年月日
      2014-09-09 – 2014-09-11
    • 招待講演
  • [学会発表] Transport Properties of Highly Ce Doped Si Films Grown by Low-temperature Molecular Beam Epitaxy2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata and N. Fujimura
    • 学会等名
      18th International Conference on Molecular Beam Epitaxy
    • 発表場所
      High Country Conference Center (USA)
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-14
    • 国際学会
  • [学会発表] 非鉛強誘電体薄膜を用いた圧電MEMS振動発電2014

    • 著者名/発表者名
      吉村 武、藤村 紀文
    • 学会等名
      STARC ワークショップ 2014
    • 発表場所
      新横浜国際ホテル(神奈川県)
    • 年月日
      2014-09-03
  • [学会発表] Electrical Properties of Cu2O Thin Films Prepared by Electrochemical Process2014

    • 著者名/発表者名
      A. Ashida, S. Sato, T. Yoshimura, and N. Fujimura
    • 学会等名
      19th International Conference on Ternary and Multinary Compounds
    • 発表場所
      朱鷺メッセ:潟コンベンションセンター(新潟県)
    • 年月日
      2014-09-01 – 2014-09-05
    • 国際学会
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS Vibrational Energy Harvester Using (100)BiFeO3/(100)LaNiO3 structure2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kariya, and N. Fujimura
    • 学会等名
      The 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      広島国際会議場(広島県)
    • 年月日
      2014-08-17 – 2014-08-18
    • 国際学会
  • [学会発表] Piezoelectric vibrational energy harvesting using BiFeO3 films2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, S. Murakami, K. Kariya, and N. Fujimura
    • 学会等名
      nternational Union of Materials Research Societies- The IUMRS International Conference in Asia 2014
    • 発表場所
      福岡大学(福岡県)
    • 年月日
      2014-08-17 – 2014-08-18
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 産業牽引型高度人材育成プログラムの将来 (博士人材のキャリアパスを拓く)2014

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文
    • 学会等名
      平成26年度大学電気工学教育研究集会
    • 発表場所
      立命館大学(滋賀県)
    • 年月日
      2014-07-28
  • [学会発表] 再構成表面を利用した新規な希土類元素ドーピング2014

    • 著者名/発表者名
      宮田 祐輔、植野 和也、藤村 紀文
    • 学会等名
      平成26年度第2回半導体エレクトロニクス部門委員会第1回研究会
    • 発表場所
      大阪大学(大阪府)
    • 年月日
      2014-07-26
  • [学会発表] 強誘電体エレクトロニクスの新展開(安全・安心・エネルギーに貢献する次世代薄膜デバイス)2014

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文
    • 学会等名
      第9回日本セラミックス協会関西支部学術講演会
    • 発表場所
      大阪府立大学(大阪府)
    • 年月日
      2014-07-25
    • 招待講演
  • [学会発表] Transport properties of highly Ce doped Si films grown by low-temperature molecular beam epitaxy2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Miyata and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10 – 2014-07-10
  • [学会発表] Two dimensional growth of homoepitaxial ZnO thin films on Zn-polar ZnO substrates2014

    • 著者名/発表者名
      H. Iwasaki, T. Nakamura, T. Yoshimura, A. Ashida, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10 – 2014-07-10
  • [学会発表] The roles of excited species on chemical vapor deposition of ZnO films using N2/O2 remote plasma generated near atomispheric pressure2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Nose, T. Kiguchi, T. Yoshimura, A. Ashida, T. Uehara, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10
  • [学会発表] Optical absorption and Luminescence of Strongly-Correlated Ferroelectric YMnO3 Thin Films2014

    • 著者名/発表者名
      H. Uga, K. Maeda, A. Ashida, T. Yoshimura, M. Nakayama, Y. Furukawa, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10
  • [学会発表] Deposition of β-Ga2O3 films by atmospheric pressure plasma enhanced CVD2014

    • 著者名/発表者名
      T. Kiguchi, Y. Nose, T. Uehara, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10
  • [学会発表] Photoreflectance Mesurements of Si-based Diluted Magnetic Semiconductors, Si:Ce Thin Films2014

    • 著者名/発表者名
      K. Ueno, Y. Miyata, H. Nakata, and N. Fujimura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(静岡県)
    • 年月日
      2014-07-10
  • [学会発表] ZnO薄膜の結晶成長とドーピング2014

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文
    • 学会等名
      材料学会半導体エレクトロニクス部会
    • 発表場所
      高知工科大学 (高知県)
    • 年月日
      2014-06-01
    • 招待講演
  • [学会発表] (100)LaNiO3下部電極の格子定数制御によるBiFeO3薄膜の圧電特性の向上2014

    • 著者名/発表者名
      苅谷 健人,吉村 武,藤村 紀文,村上 修一
    • 学会等名
      第31回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都府)
    • 年月日
      2014-05-31
  • [学会発表] Enhancement of Piezoelectric Properties of BiFeO3 Films for Vibration Energy Harvesting2014

    • 著者名/発表者名
      T. Yoshimura, K. Kariya, S. Murakami, and N. Fujimura
    • 学会等名
      23rd IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF) International Workshop on Acoustic Transduction Materials and Devices (IWATMD) Piezoresponse Force Microscopy Workshop (PFM)
    • 発表場所
      Penn State University (USA)
    • 年月日
      2014-05-12 – 2014-05-16
    • 国際学会
  • [学会発表] 薄膜の応力評価方法と応力誘起現象2014

    • 著者名/発表者名
      藤村 紀文
    • 学会等名
      透明酸化物光・電子材料第166委員会 第63回研究会
    • 発表場所
      アイビーホール青学会館(東京都)
    • 年月日
      2014-04-18
  • [備考] 大阪府立大学 工学研究科 電子物理工学分野 機能デバイス物性研究グループHP

    • URL

      http://www2.pe.osakafu-u.ac.jp/device7/

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公開日: 2017-01-06  

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