研究課題
海外大学との共同研究により開発した高い電気光学(EO)係数を有するEOポリマ(既存ニオブ酸リチウムLNの5倍以上)を代表者実証済みの新規光導波路に使用し広帯域で超低電圧駆動ポリマ光変調器を作製した。実現してきた0.65V駆動(消費電力8.5mW)ポリマ光変調器の半波長電圧の更なる低減に重点を置き消費電力低減を目的とした。新規EOポリマや低屈折率クラッド材料を用いた新規垂直閉込型スロット光導波路を使用した印加変調電界強度増大とEOポリマポーリング効率向上により半波長電圧を実現した。これにより高速ポリマ光変調器の超低消費電力化を行いPC内部光インターコネクション用光変調器への応用を行う。本研究においては、光の波長以下の領域に光を閉じ込めることを可能とするスロット光導波路及び低屈折率材料を使用した。高い光出力を実証した垂直閉込型スロット内部に配置したEOポリマへ高密度の光閉じ込めを行った。光導波路内部で高いEO係数を得るため、EOポリマ材料及び膜厚の選定を行い、EOポリマのポーリング効率改善を行った。その後クラッド層に低屈折率多孔性ゾルゲルシリカやその他低屈折率材料を使用して光閉じ込め効率を増加した。初年度と次年度にスロット内部EOポリマに対し高いEO係数を得た後、高い光閉じ込め効果が光変調器の半波長電圧に反映されることを実証した。その後低下部クラッド層に屈折率材料を併用し電極間隔を極限まで減少しうる光変調器を作製した。その結果EO係数260pm/V(LNの8倍以上)を得ることに成功した。
27年度が最終年度であるため、記入しない。
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