| 研究概要 |
プロセスプラズマ装置開発を通じたクライオプラズマの創製、および、そのプラズマ物
性測定、を主に行った。
（１）クライオプラズマの創製： 以下のようなプラズマ発生法を用い、各種のプロセス用のクライオプラズマの創製を試みた。高圧雰囲気での安定性、制御性に富む、DBD（誘電体バリア）放電を基本にした、（A）キャピラリジェット型、（B）平行平板型、のプラズマ、について、発生システムを試作した。プラズマ電源としては、研究室が所有する
交流（1～30kHz程度）、高周波（100～400MHz程度）領域の、連続、および、パルス電源を適宜選択して用いた。プラズマチャンバーとしては、研究室が現有している
①液体窒素温度（77K）対応型クライオプラズマ発生チャンバー、および、②液体ヘリウム温度（４K）対応型クライオプラズマ発生チャンバー、を改良して③材料加工プロセス専用のクライオプラズマ材料プロセス装置、とした。プラズマガスとしては温度領域に対応した、He,Ar,Air,N2,O2などの各種のガス、および、その混合ガスを用い、各種プロセス条件下（ガス種、ガス圧、電力、電圧、電極形状など）におけるクライオプラズマ発生特性を調べた。今回の研究で一番重要なファクターであるガス温度は、微小熱電対、抵抗温度計を用いて行った。とりわけ、Heクライオプラズマ中の自己組織化パターン形成について詳細に調べた。
（２）クライオプラズマの物性研究（プラズマ診断）：上記の各種クライオプラズマの物性（電子密度・温度など）について、ガス温度をパラメーターにして、発光分光測定装置、マイクロプローブ測定装置、電圧・電流測定装置、高速カメラなどを用いて明らかにし、相互関係を検討した。
|
