本研究では、プラズマ材料プロセスの新しい可能性を開拓すべく、熱プラズマ、低温プラズに次ぐ、第3の温度領域のプラズマであるクライオプラズマの材料プロセス学ークライオプラズマ材料プロセス学ーの創成を目指し、クライオプラズマの創製、診断、材料加工プロセスへの応用を行った。具体的には、誘電体バリア放電などによるクライオプラズマの創製、発光分光法、レーザー吸収法、レーザー干渉法などによる電子密度、電子温度、ガス温度などの計測、熱的な損傷に敏感であるポーラスマテリアルに対する低襲性プラズマ加工プロセスとしての低誘電率ポーラスマテリアルのプラズマアッシングプロセス開発などの基礎プロセス研究を行った。
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