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2014 年度 実績報告書

テレビジョン撮像管技術に基づく電子走査型実時間ナノ分解能光学顕微鏡の開発

研究課題

研究課題/領域番号 24310096
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

宮崎 英樹  独立行政法人物質・材料研究機構, その他部局等, その他 (10262114)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード電子顕微鏡 / 光物性 / 可視化
研究実績の概要

本研究では、過去のものとなったテレビジョン撮像管技術を現代のナノ材料・ナノ計測技術で蘇らせ、表面近傍の光学像を分解能数10nm、無染色で実時間撮像する電子走査型超解像光学顕微技術へと発展させることを目指している。具体的には、光波長よりもはるかに薄い撮像面上に置かれた対象物を照明し、裏面から電子ビームで光波長よりもはるかに小さな空間分解能で走査することにより、近接場光強度分布を電子的に読み出す、これまでにない超解像光学顕微鏡を構築する。
昨年度までに、本研究で構築した電子ビーム走査系、真空下試料交換機構、微小電流測定系、光ファイバ入出力系を利用したフライングスポットスキャナ方式による超解像光学顕微鏡システムを完成させ、また、内部に細胞を生きたまま密閉できる環境セルユニットを完成し、生きた細胞を無染色で回折限界を超える分解能で観察できることまで実証していた。
当該年度は、蓄積型撮像管方式への移行に向けて、AgまたはAuナノ粒子の紫外光による光電子放出の結果、基板との間で形成される微小コンデンサに電荷蓄積が起こるか、さらに、それを電子ビーム走査、微小電流測定により検出可能かを明らかにすることを目標としていた。見通しの良い系で検証を進めるため、微細加工により制御されたAuナノ粒子アレイを極薄誘電体膜上に作製した。深紫外光による光電効果による電荷蓄積の代わりに、適切な加速電圧の電子ビームによる予備走査で電荷蓄積状態を作っておき、それを電子ビーム走査時の微小電流により読み出す方式を試みたが、現時点で有意なレベルの信号を得るに至っていない。実験は研究期間終了後も引き続き継続している。一方、数値計算による超解像画像取得の原理検証に関しては、予定していたソフトウェア環境を整備し、超解像画像の取得が可能との結果を得た。

現在までの達成度 (段落)

26年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

26年度が最終年度であるため、記入しない。

次年度使用額が生じた理由

26年度が最終年度であるため、記入しない。

次年度使用額の使用計画

26年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Observation of the enhancement of electric fields normal to the surface using mid-infrared slot antennas and an atomic layer deposition technique2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Nishimura, T. Kawano, Y. Kunichika, K. Kasahara, T. Yaji, N. Ikeda, H. Oosato, H. Miyazaki, and Y. Sugimoto
    • 雑誌名

      Optics Communications

      巻: 349 ページ: 98~104

    • DOI

      10.1016/j.optcom.2015.03.063

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ultraviolet-nanoimprinted packaged metasurface thermal emitters for infrared CO2 sensing2015

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki, T. Kasaya, H. Oosato, Y. Sugimoto, B. Choi, M. Iwanaga, and K. Sakoda
    • 雑誌名

      Sci. Technol. Adv. Mater.

      巻: 16 ページ: 印刷中

    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Dual-band infrared metasurface thermal emitter for CO2 sensing2014

    • 著者名/発表者名
      H. T. Miyazaki, T. Kasaya, M. Iwanaga, B. Choi, Y. Sugimoto, and K. Sakoda
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 105 ページ: 121107-1~4

    • DOI

      10.1063/1.4896545

    • 査読あり
  • [学会発表] UVナノインプリント法による赤外熱放射メタ表面の作製2014

    • 著者名/発表者名
      宮崎英樹, 笠谷岳士, 杉本喜正, 崔峯碩, 岩長祐伸, 迫田和彰
    • 学会等名
      2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道・札幌市)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-21
  • [産業財産権] リフトオフ法、超微細2次元パターンアレイおよびプラズモンデバイス2014

    • 発明者名
      宮崎英樹、笠谷岳士
    • 権利者名
      物質・材料研究機構
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      特願2014-170264
    • 出願年月日
      2014-08-15

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公開日: 2016-06-01  

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