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2014 年度 研究成果報告書

プラズマ照射下その場原子分解能観察による垂直成長ナノグラフェン成長素過程の解明

研究課題

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研究課題/領域番号 24360015
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関名古屋大学

研究代表者

近藤 博基  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50345930)

研究分担者 竹田 圭吾  名古屋大学, 大学院工学研究科, 助教 (00377863)
連携研究者 堀 勝  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (80242824)
平松 美根男  名城大学, 理工学部, 教授 (50199098)
石川 健治  名古屋大学, 大学院工学研究科, 特任教授 (60417384)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードプラズマ / 透過型電子顕微鏡 / グラフェン / その場観察 / X線光電子分光法
研究成果の概要

本研究では、カーボンナノウォール(CNW)成長過程を、気相から表面反応に至るまでの系全体で明らかにした。そのために、プラズマの気相計測と、原子分解能での成長表面の組成分析と構造解析とを駆使し、環境制御型超高圧電子顕微鏡に導入可能な小型プラズマ源の開発、それを用いたプラズマ照射下でのナノグラフェンの核発生、垂直成長の過程のその場観察手法の確立、X線光電子分光などによるプラズマ照射表面の元素組成・化学結合状態の変化の解析に取り組んだ。具体的には、CNWの初期成長過程や成長後において、フッ素ラジカル処理やOHラジカル処理などが、CNW表面の組成分析・化学結合状態、結晶構造に及ぼす効果を明らかにした。

自由記述の分野

プラズマエレクトロニクス

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公開日: 2016-06-03  

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