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2014 年度 研究成果報告書

ダイヤモンド表面の超高濃度キャリア生成機構の統一的解明と次世代デバイスへの展開

研究課題

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研究課題/領域番号 24360124
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関佐賀大学

研究代表者

嘉数 誠  佐賀大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (50393731)

研究分担者 白石 賢二  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (20334039)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードダイヤモンド / キャリア伝導
研究成果の概要

ダイヤモンド表面の超高濃度のキャリアの生成機構を明らかにした。①水素終端ダイヤ表面の正孔生成はNO2吸着によることを突き止め、半導体として極めて高濃度の正孔キャリアが得た。②Al2O3薄膜をALD法で堆積することによる熱的安定化を見出し、ダイヤFETの安定動作が可能にした。③シンクロトロン電子分光法で酸素に由来する界面準位を見出し、バンド構造を決定した。④ダイヤFETのCV測定を行い界面電荷、界面準位の密度を導出した。第一原理計算からNO2のSOMO準位による機構を提案した。上記の技術を用いたダイヤモンドFETを作製し世界最高水準のDC,RF特性を示した。

自由記述の分野

電気・電子材料

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公開日: 2016-06-03  

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