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2014 年度 実績報告書

非線形光リソグラフィを駆使した立体的表面加工手法の高度化とマイクロ流体素子応用

研究課題

研究課題/領域番号 24360299
研究機関山形大学

研究代表者

西山 宏昭  山形大学, 理工学研究科, 准教授 (80403153)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードフェムト秒レーザ / 表面プラズモン共鳴 / 光還元
研究実績の概要

マルチスケール構造を集積化した立体微細素子実現のため,フェムト秒レーザ光とフォトレジストおよび金属構造との相互作用の特性評価に取り組んだ.単なる光造形とは異なり,立体化によって優れた素子機能を生み出すには,金属構造上での多光子リソグラフィが必要である.しかしながら,これまで透明誘電体内あるいは近傍でのフェムト秒レーザ多光子リソグラフィは多く報告されている一方で,電界集中を起こしやすい金属構造周辺での知見はほぼなく,その探索が必要である.
硝酸銀溶液にAuおよびAg金属周期構造を浸し,フェムト秒レーザ照射を行った.金属構造サイズは,100~500 nm程度とした.金属平板上では容易にマイクロ粒子に成長析出したのに対し,析出物のサイズは1~2ケタ程度小さくなり,析出量や位置はレーザ照射条件によって制御することが出来た.液中でのゼロ次反射率測定および理論解析から,金属構造上でのこのような特異な光挙動は,表面プラズモン共鳴によって金属構造上で生じた強電場によって多光子還元反応が進行したためと考えられる.金属構造の形状によってプラズモン波の共鳴状態が変化するが,本研究でのプラズモン援用多光子還元では,析出した金属ナノ粒子は,元の金属構造に固定付着し,結果として金属形状が変化する.その光学特性に与える影響を検討するため,落射蛍光観察を行い,金属構造周辺の蛍光強度分布を測定した.レーザ照射によって金属ナノ粒子が析出した付近では,周辺部より強い蛍光が観察され,より効果的にプラズモン共鳴が起きることが示された.

現在までの達成度 (段落)

26年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

26年度が最終年度であるため、記入しない。

次年度使用額が生じた理由

26年度が最終年度であるため、記入しない。

次年度使用額の使用計画

26年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (5件)

  • [雑誌論文] Nanoplastic deformation on Ti-39 at.% Al single crystals for manipulation of every single lamella2014

    • 著者名/発表者名
      D.X. Wei, Y. Koizumi, H. Nishiyama, A. Yamanaka, M. Yoshino, S. Miyamoto, K. Yoshimi, A. Chiba
    • 雑誌名

      Acta Materialia

      巻: 76 ページ: 331-341

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2014.05.031

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tunable plasmonic filters using laser-polymerized 3D micro-springs2014

    • 著者名/発表者名
      H. Nishiyama, Y. Abe, T. Ichimura, Y. Ohzeki, Y. Saito
    • 雑誌名

      Proc. JSME/ASME2014 International Conference on Materials and Processing 2014

      巻: 1 ページ: art. no. 5034

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザで作製した複合プラズモニック構造と高感度センシング2014

    • 著者名/発表者名
      西山宏昭,大関透典
    • 雑誌名

      第6回マイクロナノ工学シンポジウムプロシーディングス

      巻: 1 ページ: art.no.21pm2E1

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] プラズモン援用フェムト秒レーザナノ還元の偏波依存性制御2015

    • 著者名/発表者名
      西山宏昭,大関透典
    • 学会等名
      第62回春季応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-11
  • [学会発表] Femtosecond laser fabrication of hybrid plasmonic nanostructures2014

    • 著者名/発表者名
      H. Nishiyama, Y. Ohzeki
    • 学会等名
      27th International Micro processes and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      ヒルトン福岡シーホーク
    • 年月日
      2014-11-07 – 2014-11-07
  • [学会発表] フェムト秒レーザで作製した複合プラズモニック構造と高感度センシング2014

    • 著者名/発表者名
      西山宏昭,大関透典
    • 学会等名
      日本機械学会第6回マイクロナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      くびびきメッセ(松江市)
    • 年月日
      2014-10-20 – 2014-10-22
  • [学会発表] プラズモン援用フェムト秒レーザ多光子還元による複合金属構造の作製2014

    • 著者名/発表者名
      西山宏昭,大関透典
    • 学会等名
      第75回秋季応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-18 – 2014-09-18
  • [学会発表] Tunable plasmonic filters using laser-polymerized 3D micro-springs2014

    • 著者名/発表者名
      H. Nishiyama, Y. Ohzeki
    • 学会等名
      JSME/ASME2014 International Conference on Materials and Processing 2014
    • 発表場所
      Cobo center (USA)
    • 年月日
      2014-06-10 – 2014-06-10

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公開日: 2016-06-01  

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