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2014 年度 研究成果報告書

非線形光リソグラフィを駆使した立体的表面加工手法の高度化とマイクロ流体素子応用

研究課題

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研究課題/領域番号 24360299
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 材料加工・処理
研究機関山形大学 (2013-2014)
北海道大学 (2012)

研究代表者

西山 宏昭  山形大学, 理工学研究科, 准教授 (80403153)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワードフェムト秒レーザ / 金属ナノ構造 / プラズモン
研究成果の概要

立体的表面加工手法の高度化のため,フォトレジストおよび金属ナノ構造と,フェムト秒レーザとの相互作用について研究を行った.低開口数レンズでレジスト内に集光したフェムト秒レーザパルスは,特異的にチャネル伝搬し,その起源が,高繰り返しパルス由来の蓄熱効果であることを明らかにした.また,ある種の金属ナノ構造上では,フェムト秒レーザ光がプラズモンモードに結合し,局所的に強電場を生み出し,金属上の光還元反応に強く影響することを実験と理論両面から明らかにした.

自由記述の分野

光工学

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公開日: 2016-06-03  

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