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マイクロギャップを有するフレキシブルエレクトレットコンデンサセンサ（フレキシブルECS）の製作を行った。その結果，折りたたみ可能な柔軟性を有するECSを製作できた。製作したECSは，心音の測定，植物のキャビテーションに伴う超音波AEを検出が可能で，広帯域の加速度も測定できた。さらに，素子を2枚積層したデュアルセンサを製作した。このデュアルセンサから得られる送受信波形の振幅と重心周波数を用いて，軟質材料の硬さを測定することができた。これらの結果から，目的に応じて素子の形状や構造を調節することで，1 Hzから100 kHzまでの超広帯域の振動に対応したフレキシブルECSを開発できると考えられる。
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