| 研究課題/領域番号 |
24510119
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 群馬大学 |
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研究代表者 |
花泉 修 群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (80183911)
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| 研究分担者 |
三浦 健太 群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (40396651)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| キーワード | ポリマー光導波路 / 光スイッチ / プロトンビーム描画 |
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| 研究成果の概要 |
量子ビーム技術を利用したプロトンビーム描画(Proton Beam Writing: PBW)は、次世代微細加工技術として期待されているが、プロトン照射によるポリマー材料の屈折率向上効果を応用した光導波路直接描画技術としても有望である。本研究では、このPBW技術を利用し、PMMAを構成材料とするマッハツェンダー導波路型熱光学スイッチの試作を行い、光スイッチング動作の確認に初めて成功した。
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| 自由記述の分野 |
光エレクトロニクス
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