研究課題
[1]研究目的次世代の高輝度放射光源には極低エミッタンスで大電流の電子銃が必要であるが、この電子銃を実用化するには1E-11 Paの極高真空の達成が不可欠である。これには、超低ガス放出特性（仕様値1E-12 Pam/s以下）を持つ真空材料の探査並びにその表面処理が重要な開発要素となる。本研究では、申請者の研究成果である低ガス放出特性を持つチタン材料を装置の主な構成材料とし、新たな測定手段を採用することで、1E-13 Pam/s以下の非常に低いガス放出量（ガス放出速度）を測定できる高性能なチタン製ガス放出速度測定装置を開発することを目的とした。[2]研究実績平成24年度は、チタン製ガス放出速度測定装置の主要部分について設計・製造した。平成25年度は、装置の到達圧力1E-9Paを達成し、可変オリフィス機構が設計どおりに動作することを確認し、結果として1E-13Pam/s台の測定下限を達成した。平成26年度は、チタン製ガス放出速度測定装置の試料管及び超高真空粗引き真空ラインの取付けなど試料部を設計・製造し、装置として完成させた。
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Proceedings of the 11th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japan
巻: PASJ2014 ページ: 555-559
