複数の異なった分光感度特性を持った熱型赤外線検出器画素をアレイ状に配列した多波長非冷却赤外線アレイセンサの基礎技術の研究開発を行った。干渉吸収構造とプラズモニクス吸収構造で波長選択が実現できることを実験的に確認し、製造面と性能面から後者が有利であるとの結論を得た。プラズモニクス吸収構造を有する検出器で問題となった吸収帯域外感度が発生する原因を検討し、その抑制方法を提案するとともに、提案する方法が有効であることを実験的に確認した。さらに、プラズモニクス吸収構造の形状に非対称性を導入することで、偏光検知ができることも実験的に示した。
|