2014 年度研究成果報告書

大気圧ＰＣＶＤ成長ナノチューブを用いたフレキシブルＴＦＴの作製とＭＳＩの動作実証

研究課題

研究課題/領域番号	24510177
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	名古屋大学
研究代表者	岸本茂名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (10186215)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード	カーボンナノチューブ / 薄膜トランジスタ / 大気圧プラズマ / フレキシブルデバイス
研究成果の概要	大気圧プラズマCVD装置を開発して、大気圧中で成長したカーボンナノチューブが薄膜トランジスタとして動作することを始めて明らかにした。この装置はカーボンナノチューブを大面積に成膜できることを電気特性から示した。また、ポリビニルアルコールを用いた簡便な転写法でプラスチック基板上にフレキシブル集積回路を作製して遅延時間1.1μsecのリング発振動作を実証した。
自由記述の分野	電子工学