| 研究課題/領域番号 |
24540530
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 岩手大学 |
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研究代表者 |
高木 浩一 岩手大学, 工学部, 教授 (00216615)
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| 研究分担者 |
向川 政治 岩手大学, 工学部, 准教授 (60333754)
高橋 和貴 東北大学, 工学(系)研究科, 准教授 (80451491)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| キーワード | 高密度プラズマ / パルスパワー / HiPIMS / プラズマスラスター / 材料表面改質 |
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| 研究成果の概要 |
パルスパワーにより大容量・高密度グロー放電プラズマを、低圧から大気圧まで広い気圧範囲で生成し、材料表面処理などへ活用することを目的として、パルス電源の開発と大容量・高密度グロープラズマの生成や、それをスラスターや、高分子材料の表面処理、DLC高速成膜などに活用した。プラズマ生成用電源では、IGBTスイッチング電源を開発した。得られたグロープラズマは、発散磁場などを利用して空間的に制御を行った。プラズマ密度は10e18m-3以上で、電子温度は1-9eVである。このプラズマで得られたスラストは15mNで、DLC成膜でもSP3/SP2比で0.55などのアモルファスカーボン成膜を実現した。
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| 自由記述の分野 |
高電圧パルスパワー工学
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