2014 年度研究成果報告書

高速動作有機ＣＭＯＳ回路の実現に向けた有機トランジスタの基盤技術開発

研究課題

研究課題/領域番号	24550211
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	基金
応募区分	一般
研究分野	機能材料・デバイス
研究機関	神戸大学
研究代表者	北村雅季神戸大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (10345142)
研究期間 (年度)	2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード	有機トランジスタ / 薄膜トランジスタ / 移動度 / 閾値電圧 / 仕事関数 / 表面処理
研究成果の概要	高速動作有機トランジスタ回路の実現に向けた基盤技術開発の結果，次のような成果を得た。電極表面処理技術と作製プロセスの最適化により短チャネル化が容易なボトムコンタクト型有機トランジスタで移動度 3.3cm2/Vsを達成した。また，酸素プラズマ処理により回路応用に重要となる数Vの範囲での閾値電圧の制御に成功した。さらに，低コンタクト抵抗を実現する表面処理電極について仕事関数と熱安定性について重要な知見を得た。仕事関数については，4.3～5.5 eVの範囲で制御可能であることを示した。
自由記述の分野	半導体デバイス