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2014 年度 実績報告書

ボンドエンジニアリングによる「ぬれ層の物理」構築

研究課題

研究課題/領域番号 24560025
研究機関三重大学

研究代表者

伊藤 智徳  三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80314136)

研究分担者 秋山 亨  三重大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (40362363)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード半導体表面構造 / 状態図 / 格子不整合系 / ぬれ層表面 / 量子ドット / 成長機構 / 吸着・脱離 / 計算材料科学
研究実績の概要

前年度に格子不整合InAs/GaAs(001)系における従来の(2x3)表面上にはIn吸着ひいてはInAs成長が起こりえないことを指摘するとともに,Asダイマー欠損を有する(nx3)表面(n=4, 6, 8)が安定かつIn-Asダイマー形成を通してInAs成長が進行する可能性を明らかにした。この知見に基づき今年度は,InAs(001)-(2x3)ぬれ層表面での成長過程を中心に検討を行った。研究実績の概要は以下の通りである。
(1) 安定な表面は電子計数モデル(ECM)が成立するAsダイマー欠損を含む (8×3) 表面と考えられ,そのAsダイマー欠損領域にIn原子が優先的に吸着する。(2) Asダイマー欠損領域に吸着したIn原子は引き続くAs原子の吸着によりIn-Asダイマーを形成する。(3) その後,In-Asダイマーに隣接するAsダイマーの脱離が生じ,再び (2) と (3) の過程が繰り返されることで,最終的に (8×3) 表面は1つのダイマー欠損と3つのIn-Asダイマーから成る (4×3) 表面に変化する。(4) (4×3) 表面ではAsダイマー欠損領域が存在することで In 原子は吸着するが,その結果生じるひずみを緩和するために,さらに隣接するAsダイマーが脱離して行く。
以上の結果から,GaAs上のInAs(001) ぬれ層表面における成長は,InAs層形成に伴う大きなひずみを緩和するように,表面原子配列そのものをその都度変化させながら進行していると結論づけることができる。またGaAs上のInAs量子ドット核分布が,(n×3) ぬれ層領域と (2×4) ぬれ層領域の分布と密接な関係があることが実験的に報告されており,(4×3) 表面から(2×4) 表面へ変化して行く過程でのひずみ緩和と表面原子再配列の解明が量子ドット形成を考える上で重要と考えられる。

  • 研究成果

    (28件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 謝辞記載あり 7件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (19件) (うち招待講演 3件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Systematic theoretical investigations on surface reconstructions and adatom kinetics on AlN semipolar surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Takemoto, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 13 ページ: in press

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of Zn doping on the surface structure and initial growth processes of InP thin film layers on InP(111)B substrate2015

    • 著者名/発表者名
      Masataka Kato, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 13 ページ: in press

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Ab initio-based approach to structural change in InAs(001)-(2×3) wetting layer surfaces during MBE growth2015

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 13 ページ: in press

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Electronic bands and excited states of III-V semiconductor polytypes with screened-exchange density functional calculations2014

    • 著者名/発表者名
      Toru Akiyama, Kohji Nakamura, Tomonori Ito, and A. J. Freeman
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 104 ページ: 132101-1-4

    • DOI

      10.1063/1.4870095

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Theoretical investigations for the formation of InN/GaN(0001) heterostructures2014

    • 著者名/発表者名
      Ayako Ito, Tatsuhiko Sugitani, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 12 ページ: 136-140

    • DOI

      10.1380/ejssnt.2014.136

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Systematic theoretical investigations for miscibility of GaNxAs1-x-y Biy thin films2014

    • 著者名/発表者名
      Takahirao Makihara, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 12 ページ: 171-174

    • DOI

      10.1380/ejssnt.2014.171

    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Progress in theoretical approach to InGaN and InN epitaxy: In incorporation efficiency and structural stability2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshihiro Kangawa, Tomonori Ito, Akinori Koukitu, and Koichi Kakimoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 100202-1-11

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.100202

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Empirical interatomic potential approach to the stability of graphitic structure in ANB8-N compounds2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 53 ページ: 110304-1-3

    • DOI

      10.7567/JJAP.53.110304

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Ab initio-based approach to novel behavior of hetero-epitaxially grown semiconductor surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 学会等名
      SemiconNano 2015
    • 発表場所
      Taiwan (Hsinchu)
    • 年月日
      2015-09-06 – 2015-09-11
    • 招待講演
  • [学会発表] 化合物半導体MBE成長への量子論的アプローチ2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤智徳
    • 学会等名
      計算機センター特別研究会プロジェクト「結晶成長の数理」
    • 発表場所
      学習院大学(東京)
    • 年月日
      2014-12-25 – 2014-12-26
    • 招待講演
  • [学会発表] ボンドオーダーポテンシャルから見た半導体の構造安定性2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤智徳
    • 学会等名
      東北大学電気通信研究所共同プロジェクト研究会「非平衡スピン・ゆらぎの精緻な制御と観測による新規ナノデバイスの開拓研究」
    • 発表場所
      ベルサンピアみやぎ泉(仙台)
    • 年月日
      2014-11-13 – 2014-11-14
  • [学会発表] 化合物半導体エピタキシーにおける量子計算科学の展開2014

    • 著者名/発表者名
      寒川義裕,秋山亨,伊藤智徳,白石賢二,中山隆史
    • 学会等名
      第44回結晶成長国内会議
    • 発表場所
      学習院大学(東京)
    • 年月日
      2014-11-06 – 2014-11-08
    • 招待講演
  • [学会発表] Ab initio-based approach to structural change in InAs(001)-(2×3) wetting layer surfaces during MBE growth2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 学会等名
      The 7h International Symposium on Surface Science
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
  • [学会発表] Molecular dynamics study of thermal conductivity in semiconductor nanowires: Effect of rotation twins2014

    • 著者名/発表者名
      Toru Akiyama, Takato Komoda, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 学会等名
      The 7h International Symposium on Surface Science
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
  • [学会発表] Systematic theoretical investigations on surface reconstructions and adatom kinetics on AlN semipolar surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Takemoto, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 学会等名
      The 7h International Symposium on Surface Science
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
  • [学会発表] Effects of Zn doping on the surface structure and initial growth processes of InP thin film layers on InP(111)B substrate2014

    • 著者名/発表者名
      Masataka Kato, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 学会等名
      The 7h International Symposium on Surface Science
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
  • [学会発表] Theoretical investigations for initial oxidation processes on SiC surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Ayako Ito, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 学会等名
      The 7h International Symposium on Surface Science
    • 発表場所
      くにびきメッセ(松江)
    • 年月日
      2014-11-02 – 2014-11-06
  • [学会発表] InAsナノワイヤの電子構造および電気伝導率に関する理論的検討2014

    • 著者名/発表者名
      秋山亨,中村浩次,伊藤智徳
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] InAs(0001)-(2×3)ぬれ層表面に対する量子論的アプローチ2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤智徳,秋山亨,中村浩次
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] InP(111)B表面における表面再構成および成長初期過程のZnドーピング効果に関する理論的検討2014

    • 著者名/発表者名
      加藤真崇,秋山亨,中村浩次,伊藤智徳
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] SiC表面における酸化初期過程に関する理論的研究2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤綾子,秋山亨,中村浩次,伊藤智徳,白石賢二,影島博之,植松真司
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] AlN半極性表面における表面再構成およびAl原子の吸着脱離に関する理論的検討2014

    • 著者名/発表者名
      竹本圭孝,秋山亨,中村浩次,伊藤智徳
    • 学会等名
      2014年秋季第75回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌)
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
  • [学会発表] An empirical potential approach to the stability of graphitic structure in ANB8-N compounds2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 学会等名
      第33回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ修善寺(修善寺)
    • 年月日
      2014-07-09 – 2014-07-11
  • [学会発表] An empirical potential approach to structural stability for hexagonal boron nitride2014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito, Toru Akiyama, and Kohji Nakamura
    • 学会等名
      56th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      USA (Santa Barbara)
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-27
  • [学会発表] Electronic bands of III-V semiconductor polytypes with screened-exchange density functional calculations2014

    • 著者名/発表者名
      Toru Akiyama, Kohji Nakamura, Tomonori Ito, and A. J. Freeman
    • 学会等名
      56th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      USA (Santa Barbara)
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-27
  • [学会発表] Ab-initio based approach to surface reconstruction and adsorption-desorption behavior of Al on AlN semipolar surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Takemoto, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, and Tomonori Ito
    • 学会等名
      56th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      USA (Santa Barbara)
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-27
  • [学会発表] Initial reaction processes on SiC surfaces during thermal oxidation: A first-principles study2014

    • 著者名/発表者名
      Ayako Ito, Toru Akiyama, Kohji Nakamura, Tomonori Ito, Kenji Shiraishi, and Hiroyuki Kageshima
    • 学会等名
      56th Electronic Materials Conference
    • 発表場所
      USA (Santa Barbara)
    • 年月日
      2014-06-25 – 2014-06-27
  • [図書] Handbook of Crystal Growth, Volume 1 Fundamentals, Chapter 112014

    • 著者名/発表者名
      Tomonori Ito and Yoshihiro Kangawa
    • 総ページ数
      44 (pp. 477-520)
    • 出版者
      Elsevier

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公開日: 2016-06-03  

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