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2014 年度 実績報告書

シリコン中ドーパントの超高分解能深さ分布測定法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 24560027
研究機関京都大学

研究代表者

中嶋 薫  京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80293885)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード半導体物性 / 軽元素分析 / 表面・界面物性 / イオン散乱分光法 / 弾性反跳粒子検出法
研究実績の概要

本研究は、シリコン基板などの半導体結晶中のドーパント(ホウ素やリン、ヒ素などの比較的軽い不純物元素)を、高感度かつサブナノメートルの空間分解能で深さ方向分析するためのイオン散乱分析法の開発(改良)を目的とした。弾性反跳粒子検出法(ERD)を用いて母材中の軽元素分析を行う場合の、入射イオン(プローブイオン)の種類やエネルギーについて実際に測定に基づいて検討を行った。分析対象の不純物元素より軽い入射イオンを用いることによって、目的の反跳イオンを磁場型エネルギー分析器でエネルギー分析を行うときの散乱されたプローブイオンの同時検出が避けられ、不純物元素のより高感度な測定が可能なことを示した。加えて、反跳イオンの検出器(一次元位置検出器)の直前に適切な厚さのマイラー膜(実験では厚さ0.5 μmを使用)を設置することで母材原子の反跳イオンを阻止し、さらなる感度向上が達成できることを示した。
今年度は、これらの改良を加えたERD法を用いて、シリコン基板または炭素材料(高配向性熱分解黒鉛またはグラフェン)に少量(1原子層から数原子層程度)のリチウムをその場堆積させた試料について分析を行い、検出下限・深さ分解能の評価、表面のリチウムの挙動に関する観察を実施した。その結果、黒鉛表面のリチウム原子について検出下限が0.01原子層以下(3e13 atoms/cm2 程度)、深さ分解能が約0.5 nmが達成された。また、内部のリチウム原子に対する深さ分解能は深さが3 nm、5 nmの場合にそれぞれ約2 nm、3 nmであった。これらの高い性能はリチウムだけでなく、他の軽元素の分析でも同様に期待できるものである。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2014 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Emission of secondary ions after grazing impact of keV ions on solid surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nakajima, J. Lienemann, P. Eberlein, K. Kimura, K. Maass, H. Winter
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B

      巻: 340 ページ: 67-71

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2014.07.035

    • 査読あり
  • [学会発表] A compact high-resolution elastic recoil detection system for lithium depth profiling2014

    • 著者名/発表者名
      M. Nikko, K. Nakajima, K. Kimura
    • 学会等名
      The 26th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-26)
    • 発表場所
      Debrecen, Hungary
    • 年月日
      2014-07-13 – 2014-07-18
  • [備考] トップページ - 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

    • URL

      http://www.mi.t.kyoto-u.ac.jp/ja

  • [備考] ナノ物性工学 - 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

    • URL

      http://www.mi.t.kyoto-u.ac.jp/ja/information/laboratory/30ca30ce726960275de55b66

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公開日: 2016-06-03  

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