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2013 年度 実施状況報告書

狭ギャップ化合物半導体の基礎電子物性とスピン物性の探求

研究課題

研究課題/領域番号 24560034
研究機関福岡大学

研究代表者

眞砂 卓史  福岡大学, 理学部, 准教授 (50358058)

研究分担者 柴崎 一郎  公益財団法人野口研究所, 顧問 (10557250)
石田 修一  山口東京理科大学, 工学部, 嘱託教授 (70127182)
キーワードInSb / InAsSb / 分子線エピタキシー / 量子井戸 / バンドダイアグラム / ホールセンサ / スピン軌道相互作用 / スピンポンピング
研究概要

InSb量子井戸とInAsSb量子井戸について、バンド計算を用いた解析をさらに進めた。バンド計算から得られた井戸構造を用いて、4 K、77 K、300 Kの各温度におけるキャリア密度の井戸幅依存性を見積もったとところ、InAsSb量子井戸に関しては、キャリア密度の絶対値は少し小さめであるが、実験で得られた井戸幅依存性をよく再現し、低温においても多くのキャリアが十分存在していることを確認できた。InSb量子井戸に関しては、室温においてはInAsSb量子井戸と同様、絶対値は少し小さめであるが、実験で得られた井戸幅依存性をよく再現した。しかし、77Kでは実験では比較的多くのキャリアが残っているものの、バンド計算ではかなり少なく見積もられた。4 Kにおいては、ほぼキャリアが存在しないという計算結果が得られ、これは実験においてキャリア密度測定不能であることに一致する。これらの実験とバンド計算の比較から、極低温以外ではバックグラウンドに1x10^11/cm2程度ののキャリアが存在すると考えると、実験結果を非常に合理的に解釈可能である。このバックグラウンドキャリアの起源としては、バリア層とGaAs基板界面の欠陥などから供給されていると考えられる。
スピン注入技術に関しては、スピンポンピングと非局所測定を組み合わせたスピン注入の実験を引き続き行った。しかし、スピン注入素子の最適化が進んでおらず、まだ確定的な結果が得られていない。また、スピン流の伝搬に関して、スピン波の励起・検出を行った。時間領域および周波数領域におけるスピン波伝搬について測定し、両者の結果がコンシステントであることを確認した。また、スピン波の減衰長を見積もったところ、パーマロイでは約10 um程度であることが分かった。スピン波を用いたスピン注入についても検討を進める予定である。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

3: やや遅れている

理由

バンド計算の解析の進展から、バンド構造のキャリア密度への影響まで明らかになったが、キャリア密度を制御して電子物性を測定するゲート電極付き試料作製の最適化がまだ完了していない。リークがなく大きな電場の印可可能なゲート絶縁膜の作製条件、および低温においてもオーミック電極が実現する電極作製などまだ解決すべき点が残っている。
また、スピン注入試料においても、今年度は試料作製における歩留まりが悪く、注入したスピンシグナルのばらつきが大きかった。このため、昨年度以上の結果が得られる試料を作製することができず、スピンポンピング実験における信頼できるデータは取得できていない。
このように試料作製の点で、予定より遅延が生じているが、次年度は、新たな微細加工装置および薄膜作製装置が導入されるため、試料作製効率の大幅な向上が見込まれる。このため、試料作製条件の最適化を早急に進め、予定している物性測定まで進めることが課題である。

今後の研究の推進方策

これまでにInSb量子井戸とInAsSb量子井戸の特性の違いがバンドダイアグラムに大きく起因し、これがキャリア密度に大きな影響を与えていることが分かってきた。次年度はキャリア密度の影響をさらに調べるため、ゲート制御試料の電子物性を詳しく調べる予定である。これまでゲート電極の作製によってのみにおいても、移動度の向上がみられるなど予備的結果が得られている。しかしながら、再現性も含めて物理的な特性変化の要因を検討し、高移動度実現のための指針を得る。そして、ゲートによるスピン軌道相互作用の制御について評価につなげる。また、ホール素子へのパッケージングに関連して、微弱磁場検出の感度評価を行う予定である。
スピン注入に関しては、金属を用いたスピンポンピング・非局所測定について、引き続き試料の最適化を進め、スピン注入・検出技術を確実なものとし、InSb系へのスピンポンピングに適用する。また、スピン波の性質について、非相反性や伝搬媒体の層厚依存性などの基礎データをまとめ、スピン波を利用した半導体のスピン物性の相互作用の可能性の検討を行う。

次年度の研究費の使用計画

ホール素子の弱磁場感度評価測定用冶具であるフェライトコアを購入する予定であったが、設計の遅延および予算不足により、次年度に改めて発注を行う予定である。
フェライトコアを購入予定

  • 研究成果

    (15件)

すべて 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件) (うち招待講演 2件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] Ferromagnetic Resonance of a Single Micron Dot using Vector Network Analyzer2013

    • 著者名/発表者名
      K. Yamanoi, S. Yakata, T. Kimura, T. Manago
    • 雑誌名

      J. Korea Phys. Soc.

      巻: 62 ページ: 800-803

    • DOI

      10.3938/jkps.63.800

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spin Wave Excitation and Propagation Properties in a Permalloy film2013

    • 著者名/発表者名
      K. Yamanoi, S. Yakata, T. Kimura, T. Manago
    • 雑誌名

      J. Jpn. Appl. Phys.

      巻: 52 ページ: 083001 5 pages

    • DOI

      DOI: 10.7567/JJAP.52.083001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] 超高感度磁気センサーのためのInSb系量子井戸の研究2013

    • 著者名/発表者名
      柴崎一郎、眞砂卓史、石田修一、外賀寛崇
    • 雑誌名

      電気学会フィジカルセンサ研究会資料

      巻: PHS-13 ページ: 23-25

  • [雑誌論文] 狭ギャップ半導体の物性と磁気センサ応用2013

    • 著者名/発表者名
      柴崎一郎
    • 雑誌名

      まぐね (Magnetics Japan.)

      巻: 8 ページ: 224-236

  • [雑誌論文] 非接触センサによる電子制御モータ時代を拓いた高感度InSb薄膜ホール素子と磁性材料 (特集 磁性材料の最近の話題)2013

    • 著者名/発表者名
      柴崎一郎
    • 雑誌名

      セラミックス (Ceramics Japan)

      巻: 48 ページ: 354-361

  • [雑誌論文] 量子井戸型InAsホール素子による高感度リニアハイブリッドホールIC2013

    • 著者名/発表者名
      柴﨑一郎、栗山憲冶、牧野崇史、深澤尚也、鈴木健治
    • 雑誌名

      電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌

      巻: 133 ページ: 301-306

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.133.301

  • [学会発表] ネットワークアナライザによる静磁表面スピン波の非相反性の測定2014

    • 著者名/発表者名
      山野井一人、山本明、葛西伸哉、 三谷誠司、眞砂 卓史
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学
    • 年月日
      20140317-20140320
  • [学会発表] InSbおよびInAsSb量子井戸のバンドダイアグラムの検討2013

    • 著者名/発表者名
      眞砂卓史、石田修一、外賀寛崇、柴崎一郎
    • 学会等名
      第74回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      20130916-20130920
  • [学会発表] 時間領域と周波数領域におけるスピン波の比較2013

    • 著者名/発表者名
      山野井一人、葛西伸哉、 三谷誠司、眞砂 卓史
    • 学会等名
      第74回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 年月日
      20130916-20130920
  • [学会発表] Comparative Study of Transport Properties in AlInSb/InSb and AlInSb/InAsSb Quantum Wells2013

    • 著者名/発表者名
      T. Manago, S. Ishida, H. Geka, I. Shibasaki
    • 学会等名
      17th International Conference on Crystal Growth and Epitaxy (ICCGE17)
    • 発表場所
      Warsaw
    • 年月日
      20130811-20130816
  • [学会発表] 超高感度磁気センサーのためのInSb系量子井戸の研究2013

    • 著者名/発表者名
      柴崎一郎、眞砂卓史、石田修一、外賀寛崇
    • 学会等名
      フィジカルセンサ研究会
    • 発表場所
      東京工科大学
    • 年月日
      20130808-20130809
  • [学会発表] InSb量子井戸における電気伝導性のAs置換効果

    • 著者名/発表者名
      眞砂卓史、石田修一、外賀寛崇、柴崎一郎
    • 学会等名
      九州表面・真空研究会
    • 発表場所
      福岡大学
    • 招待講演
  • [学会発表] Py中のスピン波伝搬における減衰長の磁場依存性

    • 著者名/発表者名
      山野井 一人、家形 諭、 木村 崇、眞砂 卓史
    • 学会等名
      九州表面・真空研究会
    • 発表場所
      福岡大学
  • [学会発表] Thin film magnetic sensors and their practical applications

    • 著者名/発表者名
      柴崎一郎
    • 学会等名
      日中科学技術交流協会 日中電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      中国科学院微電子研究所
    • 招待講演
  • [図書] 電気工学ハンドブック(第7版) (10編センサ・マイクロマシン、1章フィジカルセンサ、7節、磁気センサ)2013

    • 著者名/発表者名
      電気学会編 柴崎一郎 他
    • 総ページ数
      2706 (内担当ページ 6)
    • 出版者
      オーム社

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公開日: 2015-05-28  

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