| 研究成果の概要 |
これまで，プラズマ処理や硫黄処理等の表面処理が放射線検出特性の改善に効果があることを示してきた．今回，Mg, Ti, Al, Niと各種金属を用いた素子を作製し，ショットキー障壁高さの評価を行い，界面準位が形成されていると考えられる事を示した．また，電流同時AFMを用いて表面状態の計測を行った．その結果，硫黄処理を施した試料では抵抗率の高い一様な表面が形成されるが，プラズマ処理では粒子状の箇所と粒界で異なる電気的特性が観測された．適切な条件で硫黄処理を行えば，長時間測定可能な素子が作製できるが，この局所的な表面状態の違いが高品質な放射線検出特性に影響を与える可能性があることを明らかにした．
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