難削材料に対する穴径0.2mm以下、板厚穴径比20以上の微細深穴あけにおける、工具折損防止や工具長寿命化による高能率化さらには加工の高精度化を目的とし、加工対象物の低周波振動加振技術の開発を実施した。チャック上に固定された耐熱合金製噴射ノズルの表面に対して任意方向に低周波振動(数百Hz前後)を与える手法を開発した。 前後運動・楕円振動を加工対象物に付与する把持システムおよび制御手法の開発を行い、実際に微細穴加工を実施し有効性を検証した。実験結果では、切屑切断に最適な150Hzの低周波振動条件下で、長径10μm短径3μmの楕円振動を正確に付与し微細深穴加工を実現できた。
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