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AFM触針を研磨砥粒のナノ切れ刃とみなし、液中で光ファイバ端面コア近傍をスクラッチ加工することによって石英ガラスに対する研磨の基礎過程の検討をした。AFMシステムを用いることによって加工荷重と切れ刃軌跡を制御し、液と触針の材質を変化させた。また、ファイバ端面の光学特性を測定することにより加工変質層の評価も行った。その結果、AFMスクラッチ加工の化学的側面を含めた基礎過程を明らかにした。そしてそれは触針材質に依存し、実際の研磨加工を良く反映していることがわかった。従って本方法によって直接研磨加工におけるナノ形状砥粒と基板との加工特性を検討できる可能性があることがわかった。
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