研究課題
基盤研究(C)
本研究では，しゅう動面の形状変化や剛性変化を与えずに計測できる薄膜型面圧・油膜厚さセンサの開発を行い，これらのセンサを用いたしゅう動面の挙動と，油膜の正圧から負圧に至る油膜圧力（張力）の同時計測を目的とした．また，狭い場所の油膜の計測を考慮し，複層膜型のセンサについても検討した．センサの多重化では，高い絶縁特性と１ミクロン程度の薄膜のセンサを実現するため，新しい成膜技術であるＡＬＤ法についても実験を行った．最後に，試験装置を製作して油膜挙動の実験を行った．
機械工学
