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電子基板に対して波長可変レーザー光を照射し，スペックル干渉計を通して多数の干渉像を取込み，微小振動が残る環境下でも３次元形状を計測できる方法を開発した．ランダム振動環境下で干渉像を多数枚取り込むと，画像間の位相シフト量はランダムな変化となる．画像内の異なる２画素における光強度の最大値・最小値を利用した２回規格化からこの位相シフト量を計算し，取り込んでいる光強度の変化から最小二乗近似で干渉像の位相値をカメラの全画素で計算する．実験ではレーザー波長を７種変えて全体で140枚の干渉像を取込み，６種の波長変更に伴う６種の位相変化分布から電子基板の３次元形状を計算した．
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