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本研究は、CMOSロジックLSIへの直流電源供給をモチーフに、Zn-Feフェライトめっき厚膜とカルボニル鉄／エポキシ複合材料厚膜を磁心に用いた有機インターポーザ内蔵パワーインダクタの開発と、有機インターポーザ集積化CMOSスイッチ降圧DC-DCコンバータを試作・評価したものである。フェライト厚膜スパイラルインダクタを用いた180nm-CMOSスイッチ降圧DC-DCコンバータはスイッチング周波数50MHzで動作し、2V入力－0.855V・1A出力時の主回路効率は74％であった。本研究の成果はパッケージレベルの直流電源グリッドの確立をとおして電子機器の省電力化に貢献するものと期待される。
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