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ガスフロースパッタ法を用いると、80nm程度の立方体や小さな粒子が凝集した新規な形状をしたFe粒子が作製できる。その成長メカニズムを明らかにし、再現制良く作り分けできれば、様々なとことに応用することが可能である。本研究では、実際にガスフロースパッタほうにより様々な条件においてどのような形態の粒子が成長するか詳細に調べるとともに、粒子成長に大きな影響をもつ移送ガスの流れについて計算機シミュレーションにより調べ、両者の結果を対応付けることにより、粒子成長メカニズムを考察した。その結果、かなりの精度により形状制御が可能になった。
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