本研究では,III族窒化物系発光ダイオードに,サブ波長周期構造を適用し,高機能発光ダイオードの開発を目指した。特に,紫外光領域における発光ダイオードの高機能化に焦点をあて,直線偏光紫外発光ダイオードの開発,また,その光取り出し効率改善について検討した。サブ波長回折格子内における固有モードの理論的検討および有限差分時間領域法(FDTD法)による電磁界分布計算により,高偏光を有する発光ダイオードの作製条件を決定した。最適構造のサブ波長回折格子を発光ダイオード表面に実装した結果,p偏光:s偏光=18:1の高偏光紫外発光ダイオードの作製に成功した。
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