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2014 年度 実績報告書

へき開共振器ミラーを有する非極性GaN基板上緑色半導体レーザに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 24560385
研究機関金沢工業大学

研究代表者

山口 敦史  金沢工業大学, 工学部, 教授 (60449428)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
キーワード窒化物半導体 / 半導体レーザ / 光学利得 / 価電子帯 / 偏光特性
研究実績の概要

本研究では、低コスト・高性能の緑色半導体レーザを実現するために、通常の窒化物半導体デバイスで用いられているc面GaN基板ではなく、c面から30~40度程度傾斜した面方位を表面にもつ基板(以下、低角半極性基板と呼ぶ)の上にレーザ層構造を積層した半導体レーザ素子構造の実用可能性の実証に取り組んだ。このレーザ構造では、偏光特性が我々の理論予測どおりになっていれば、劈開面を共振器ミラーに用いることができるため、従来の緑色半導体レーザに比べ、低コスト・高性能化が期待できるものである。
研究期間の間に、複数の民間企業の協力により、非c面GaN基板上InGaN量子井戸のサンプルを作製していただき、それらの偏光特性を測定し、これまでの文献データとの比較、及び、未探索領域のデータ取得を行った。その過程の中で、これまでの文献の中で行われている「偏光PL測定」と呼ばれる手法では、偏光特性を実質的に決めている価電子帯構造を正しく把握できないこと、及び、「偏光PLE測定」と呼ばれる手法を用いれば正しい理解が可能になることがわかった。このため、これまでの文献データ、及び、それに基づく理論予測はすべて見直す必要がある。そこで、本研究では、急遽、これまでのデータをすべて疑い、ゼロからデータを取り直していくことを開始した。その結果、これまでにc面から90度傾斜した基板上のInGaN構造についてはデータがほぼそろう状況まで達した。今後、他の面方位まで実験対象を広げ、価電子帯構造の完全な把握、及び、それに基づきレーザ特性予測を行っていく予定である。
一方、それと並行して緑色半導体レーザの光学利得、及び、その偏光特性を同時に正確に測定する装置の開発もこの研究期間中に完了し、一部の半導体レーザについて光学利得を広い波長範囲に渡って計測することに成功した。

  • 研究成果

    (9件)

すべて 2015 2014

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Theoretical Analysis of Optical Polar-ization Properties in Semipolar and Nonpolar InGaN Quantum Wells for Precise Determination of Valence-Band Parameters in InGaN Alloy Material2015

    • 著者名/発表者名
      Shigeta Sakai, Atsushi A. Yamaguchi
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi B

      巻: 252 ページ: 885-889

    • DOI

      10.1002/pssb.201451594

    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] 非極性InGaN量子井戸の偏光特性2014

    • 著者名/発表者名
      坂井繁太、山口敦史、栗原 香、長尾 哲
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: 114 ページ: 23-26

  • [学会発表] Optical Polarization Properties in Nonpolar InGaN Quantum Wells2015

    • 著者名/発表者名
      Atsushi A. Yamaguchi, Shigeta Sakai, Kaori Kurihara, and Satoru Nagao
    • 学会等名
      Energy Materials Nanothechnology East Meeting 2015
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2015-04-22 – 2015-04-22
    • 招待講演
  • [学会発表] Effects of Alloy Compositional Fluctu-ation on Optical Polarization Properties in Nonpolar InGaN Quantum Wells2014

    • 著者名/発表者名
      Shigeta Sakai, Atsushi A. Yamaguchi, Kaori Kurihara, and Satoru Nagao
    • 学会等名
      the 10th International Symposium on Semi-conductor Light Emitting Devices
    • 発表場所
      Kaohsiung, Taiwan
    • 年月日
      2014-12-18 – 2014-12-18
  • [学会発表] 非極性InGaN量子井戸の偏光特性2014

    • 著者名/発表者名
      坂井繁太、山口敦史、栗原 香、長尾 哲
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会(LQE)
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2014-11-27 – 2014-11-27
  • [学会発表] Theoretical Study of Optical Gain Characteristics in InGaN Pure-Green Laser Diodes on Semipolar GaN Substrates2014

    • 著者名/発表者名
      Atsushi A. Yamaguchi, Shigeta Sakai
    • 学会等名
      Energy Material Nan-otechnology Open Ac-cess Week Meeting
    • 発表場所
      Chengdu, China
    • 年月日
      2014-09-23 – 2014-09-23
    • 招待講演
  • [学会発表] In組成の空間的ゆらぎが非極性InGaN量子井戸の偏光特性へ及ぼす影響2014

    • 著者名/発表者名
      坂井繁太, 山口敦史, 栗原香, 長尾 哲
    • 学会等名
      2014年秋季 第75 回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-19 – 2014-09-19
  • [学会発表] Theoretical Analysis of Optical Polar-ization Properties in Semipolar and Nonpolar InGaN Quantum Wells for Precise Determination of Valence-Band Parameters in InGaN Alloy Material2014

    • 著者名/発表者名
      S. Sakai, A.A. Yama-guchi
    • 学会等名
      International Work-shop on Nitride sem-iconductors
    • 発表場所
      Wroclaw, Poland
    • 年月日
      2014-08-26 – 2014-08-26
  • [学会発表] Theoretical Prediction of Optical Gain Characteristics in InGaN Green Laser Diodes Fabricated on Low-Angle Semipolar GaN Substrates2014

    • 著者名/発表者名
      Atsushi A. Yamaguchi and Shigeta Sakai
    • 学会等名
      2014 Asia-Pacific Workshop on Funda-mentals and Applica-tions of Advanced Semiconductor Devic-es
    • 発表場所
      Kanazawa, Japan
    • 年月日
      2014-07-01 – 2014-07-01

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公開日: 2016-06-03  

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